Parte del contenido de esta aplicación no está disponible en este momento.
Si esta situación persiste, contáctenos aComentarios y contacto
1. (WO2019063561) SAMPLE PRE-CHARGING METHODS AND APPARATUSES FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional    Formular observación

Nº de publicación: WO/2019/063561 Nº de la solicitud internacional: PCT/EP2018/075996
Fecha de publicación: 04.04.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 25.09.2018
CIP:
H01J 37/02 (2006.01) ,H01J 37/04 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
J
TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA
37
Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento
02
Detalles
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
J
TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA
37
Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento
02
Detalles
04
Disposiciones de electrodos y partes asociadas para generar o controlar la descarga, p. ej. dispositivo electronóptico, dispositivo ionóptico
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
J
TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA
37
Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento
26
Microscopios electrónicos o iónicos; Tubos de difracción de electrones o de iones
28
con haces de barrido
Solicitantes:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Personas inventoras:
LIU, Xuedong; US
XI, Qingpo; US
JIANG, Youfei; US
REN, Weiming; US
HU, Xuerang; US
CHEN, Zhongwei; US
Mandataria/o:
PETERS, John; NL
Datos de prioridad:
62/566,15329.09.2017US
Título (EN) SAMPLE PRE-CHARGING METHODS AND APPARATUSES FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS DE PRÉ-CHARGEMENT D'ÉCHANTILLON POUR INSPECTION DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Resumen:
(EN) Disclosed herein is an apparatus comprising: a source of charged particles configured to emit a beam of charged particles along a primary beam axis of the apparatus; a condenser lens configured to cause the beam to concentrate around the primary beam axis; an aperture; a first multi-pole lens; a second multi-pole lens; wherein the first multi-pole lens is downstream with respect to the condenser lens and upstream with respect to the second multi-pole lens; wherein the second multi-pole lens is downstream with respect to the first multi-pole lens and upstream with respect to the aperture.
(FR) Cette invention concerne un appareil comprenant : une source de particules chargées configurée pour émettre un faisceau de particules chargées le long d'un axe de faisceau primaire de l'appareil ; une lentille condensatrice configurée pour amener le faisceau à se concentrer autour de l'axe de faisceau primaire ; une ouverture ; une première lentille multipolaire ; une seconde lentille multipolaire, la première lentille multipolaire étant en aval par rapport à la lentille condensatrice et en amont par rapport à la seconde lentille multipolaire, la seconde lentille multipolaire étant en aval par rapport à la première lentille multipolaire et en amont par rapport à l'ouverture.
front page image
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Inglés (EN)
Idioma de la solicitud: Inglés (EN)