Parte del contenido de esta aplicación no está disponible en este momento.
Si esta situación persiste, contáctenos aComentarios y contacto
1. (WO2019052736) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina InternacionalFormular observación

Nº de publicación: WO/2019/052736 Nº de la solicitud internacional: PCT/EP2018/070627
Fecha de publicación: 21.03.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 30.07.2018
CIP:
G02B 7/182 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G FISICA
02
OPTICA
B
ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS
7
Monturas, medios de regulación o uniones estancas a la luz para elementos ópticos
18
para prismas; para espejos
182
para espejos
G FISICA
02
OPTICA
B
ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS
26
Dispositivos o sistemas ópticos que utilizan elementos ópticos móviles o deformables para controlar la intensidad, el color, la fase, la polarización o la dirección de la luz, p. ej. conmutación, apertura de puerta, modulación
08
para controlar la dirección de la luz
G FISICA
03
FOTOGRAFIA; CINEMATOGRAFIA; TECNICAS ANALOGAS QUE UTILIZAN ONDAS DISTINTAS DE LAS ONDAS OPTICAS; ELECTROGRAFIA; HOLOGRAFIA
F
PRODUCCION POR VIA FOTOMECANICA DE SUPERFICIES TEXTURADAS, p. ej. PARA LA IMPRESION, PARA EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; MATERIALES A ESTE EFECTO; ORIGINALES A ESTE EFECTO; APARELLAJE ESPECIALMENTE ADAPTADO A ESTE EFECTO
7
Producción por vía fotomecánica, p. ej. fotolitográfica, de superficies texturadas, p. ej. superficies impresas; Materiales a este efecto, p. ej. conllevando fotorreservas; Aparellaje especialmente adaptado a este efecto
20
Exposición; Aparellaje a este efecto
Solicitantes:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Personas inventoras:
HARTJES, Joachim; DE
Mandataria/o:
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart, DE
Datos de prioridad:
10 2017 216 498.018.09.2017DE
Título (DE) OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR REPARATUR DER OPTISCHEN ANORDNUNG NACH EINER SCHOCKBELASTUNG
(EN) OPTICAL ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE REPAIR OF THE OPTICAL ARRANGEMENT AFTER A SHOCK LOAD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE RÉPARATION DU SYSTÈME OPTIQUE APRÈS UN CHOC
Resumen:
(DE) Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, insbesondere ein Lithographiesystem, umfassend: eine erste Komponente (19), insbesondere einen Tragrahmen, eine relativ zur ersten Komponente (19) bewegliche zweite Komponente (13, 3), insbesondere einen Spiegel (13) oder ein Gehäuse (3), sowie mindestens einen Anschlag (20a) mit mindestens einer Anschlagfläche (21a, b) zur Begrenzung der Bewegung der zweiten Komponente (13) relativ zur ersten Komponente (19). Der Anschlag (20a, b) weist zur Absorption der kinetischen Energie der zweiten Komponente beim Anschlagen gegen die Anschlagfläche (21a) einen Metallschaum (22) auf. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Reparatur einer solchen optischen Anordnung nach einer Schockbelastung, umfassend: Austauschen mindestens eines Anschlags (20b), bei dem der Metallschaum (22) bei der Schockbelastung gestaucht wurde, gegen einen Anschlag (20b), bei dem der Metallschaum (22) nicht gestaucht ist.
(EN) The invention relates to an optical arrangement, more particularly a lithography system, comprising: a first component (19), more particularly a supporting frame, a second component (13, 3) which is movable relative to the first component (19), more particularly a mirror (13) or a housing (3), and at least one stop (20a) having at least one stop surface (21a, b) for limiting the movement of the second component (13) relative to the first component (19). The stop (20a, b) comprises a metal foam (22) for absorbing the kinetic energy of the second component when it strikes against the stop surface (21a). The invention further relates to a method for repairing an optical arrangement of this kind after a shock load, comprising: exchanging at least one stop (20b), in which the metal foam (22) was compressed under the shock load, for a stop (20b) in which the metal foam (22) is not compressed.
(FR) L’invention concerne un système optique, en particulier un système de lithographie, comprenant : un premier composant (19), en particulier un cadre porteur, un second composant (13, 3) mobile par rapport au premier composant (19), en particulier un miroir (13) ou un boîtier (3), ainsi qu’au moins une butée (20a) présentant au moins une surface de butée (21a, b) limitant le déplacement du second composant (13) par rapport au premier composant (19). La butée (20a, b) présente une mousse métallique (22) servant à absorber l’énergie cinétique du second composant lorsqu'il bute contre la surface de butée (21a). L’invention concerne également un procédé de réparation dudit système optique après un choc, consistant à : remplacer au moins une butée (20b) dont la mousse métallique (22) a été écrasée par le choc par une butée (20b) dont la mousse métallique (22) n’est pas écrasée par le choc.
front page image
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organización Regional Africana de la Propiedad Intelectual (ORAPI) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Organización Eurasiática de Patentes (OEAP) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Alemán (DE)
Idioma de la solicitud: Alemán (DE)