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1. (WO2019032252) ULTRA-HIGH VACUUM TRANSPORT AND STORAGE
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional    Formular observación

Nº de publicación: WO/2019/032252 Nº de la solicitud internacional: PCT/US2018/042635
Fecha de publicación: 14.02.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 18.07.2018
CIP:
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
67
Aparatos especialmente adaptados para el manejo de dispositivos semiconductores o eléctricos de estado sólido durante su fabricación o tratamiento; Aparatos especialmente adaptados para el manejo de obleas durante la fabricación o tratamiento de dispositivos o componentes semiconductores o eléctricos de estado sólido
677
para el transporte, p. ej. entre diferentes estaciones de trabajo
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
67
Aparatos especialmente adaptados para el manejo de dispositivos semiconductores o eléctricos de estado sólido durante su fabricación o tratamiento; Aparatos especialmente adaptados para el manejo de obleas durante la fabricación o tratamiento de dispositivos o componentes semiconductores o eléctricos de estado sólido
Solicitantes:
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, M/S CA-1 Fremont, California 94538, US
Personas inventoras:
PANAGOPOULOS, Theodoros; US
GOULD, Richard; US
REYES, Edmundo; US
BONIFACE, John; US
BERRY, Ivan; US
DULKIN, Alexander; US
VAN SCHRAVENDIJK, Bart; US
Mandataria/o:
LEE, Michael; US
Datos de prioridad:
15/674,88311.08.2017US
Título (EN) ULTRA-HIGH VACUUM TRANSPORT AND STORAGE
(FR) TRANSPORT ET STOCKAGE SOUS ULTRAVIDE
Resumen:
(EN) An apparatus for transporting or storing at least one semiconductor wafer in an ultra-high vacuum is provided. A portable vacuum transfer pod is provided comprising an internal wafer storage chamber for storing one or more wafers and a wafer support for supporting at least one wafer within the internal wafer storage chamber. A passively capable vacuum pump capable of passive vacuum pumping is in fluid connection with the internal wafer storage chamber and is mechanically connected to the portable vacuum transfer pod. A shut off valve for opening and closing the fluid connection is between the passively capable vacuum pump and the internal wafer storage chamber.
(FR) L'invention concerne un appareil de transport ou de stockage d'au moins une tranche de semi-conducteur sous ultravide. Une capsule de transfert sous vide transportable comprend une chambre interne de stockage de tranches permettant de stocker une ou plusieurs tranches et un support de tranches destiné à supporter au moins une tranche à l'intérieur de la chambre interne de stockage de tranches. Une pompe à vide à capacité passive permettant un pompage passif de vide est en communication fluidique avec la chambre interne de stockage de tranches et est reliée mécaniquement à la capsule de transfert sous vide transportable. Une vanne d'isolement permettant d'ouvrir et de fermer la connexion fluidique est située entre la pompe à vide à capacité passive et la chambre interne de stockage de tranches.
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Inglés (EN)
Idioma de la solicitud: Inglés (EN)