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1. (WO2019028064) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional    Formular observación

Nº de publicación: WO/2019/028064 Nº de la solicitud internacional: PCT/US2018/044671
Fecha de publicación: 07.02.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 31.07.2018
CIP:
H01S 3/10 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
S
DISPOSITIVOS QUE UTILIZAN LA EMISION ESTIMULADA
3
Láser, es decir, dispositivos para la producción, amplificación, modulación, demodulación o el cambio de frecuencia utilizando la emisión estimulada de ondas infrarrojas, visibles o ultravioletas
10
Control de la intensidad, frecuencia, fase, polarización o de la dirección de la radiación, p. ej. conmutación, apertura de puerta, modulación o demodulación
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
02
Fabricación o tratamiento de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas
04
los dispositivos presentan al menos una barrera de potencial o una barrera de superficie, p. ej. una unión PN, una región de empobrecimiento, o una región de concentración de portadores de cargas
18
los dispositivos tienen cuerpos semiconductores que incluyen elementos del cuarto grupo de la Tabla Periódica, o de compuestos AIIIBVcon o sin impurezas, p. ej. materiales de dopado
26
Bombardeo con radiación ondulatoria o de partículas
263
con radiaciones de alta energía
268
utilizando radiaciones electromagnéticas, p. ej. rayos láser
Solicitantes:
IPG PHOTONICS CORPORATION [US/US]; 50 Old Webster Road Oxford, MA 01540, US
Personas inventoras:
LIMANOV, Alexander; US
VON DADELSZEN, Michael; US
CORDINGLEY, James; US
SCHOENLY, Joshua; US
Mandataria/o:
KATESHOV, Yuri; US
Datos de prioridad:
62/539,18331.07.2017US
62/549,25423.08.2017US
Título (EN) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
(FR) APPAREIL LASER À FIBRE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE PIÈCE
Resumen:
(EN) A surface treating method and apparatus include operating a quasi-continuous wave fiber laser and pre-scan shaping the laser beam such that an instantaneous spot beam has predetermined geometrical dimensions, intensity profile, and power; operating a scanner at an optimal angular velocity and angular range to divide the pre-scan beam into a plurality of sub-beams deflected towards the surface being processed; guiding the sub-beams through a post-scan optical assembly to provide the spot beam with predetermined geometrical dimensions, power, and angular velocity and range, which are selected such that the instantaneous spot beam is dragged in a scan direction over a desired length at a desired scan velocity, which allow the treated surface to be exposed for a predetermined exposure duration and have a predetermined fluence distribution providing the treated surface with a quality comparable to that of the surface processed by an excimer laser or a burst-mode fiber laser.
(FR) L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un appareil de traitement de surface qui comprend l'exploitation d'un laser à fibre à onde quasi-continue et la mise en forme pré-balayage du faisceau laser de manière qu'un faisceau ponctuel instantané présente des dimensions géométriques, un profil d'intensité et une puissance prédéterminés ; l'exploitation d'un dispositif de balayage à une vitesse angulaire et dans une plage angulaire optimales pour diviser le faisceau pré-balayage en une pluralité de sous-faisceaux déviés vers la surface soumise au traitement ; le guidage des sous-faisceaux à travers un ensemble optique post-balayage pour conférer au faisceau ponctuel des dimensions géométriques, une puissance, et une vitesse et une plage angulaires prédéterminées, qui sont sélectionnées de manière que le faisceau ponctuel instantané soit entraîné dans une direction de balayage sur une longueur souhaitée à une vitesse de balayage souhaitée, qui permettent à la surface traitée d'être exposée pendant une durée d'exposition prédéterminée et d'avoir une distribution de fluence prédéterminée conférant à la surface traitée une qualité comparable à celle de la surface traitée par un laser à excimère ou un laser à fibre en mode rafale.
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Inglés (EN)
Idioma de la solicitud: Inglés (EN)