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1. (WO2019009091) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
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Nº de publicación: WO/2019/009091 Nº de la solicitud internacional: PCT/JP2018/023652
Fecha de publicación: 10.01.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 21.06.2018
CIP:
H01L 29/78 (2006.01) ,H01L 21/336 (2006.01) ,H01L 29/06 (2006.01) ,H01L 29/12 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
29
Dispositivos semiconductores adaptados a la rectificación, amplificación, generación de oscilaciones o a la conmutación que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie; Condensadores o resistencias, que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie, p. ej. unión PN, región de empobrecimiento, o región de concentración de portadores de carga; Detalles de cuerpos semiconductores o de sus electrodos
66
Tipos de dispositivos semiconductores
68
controlables únicamente por la corriente eléctrica suministrada, o la tensión eléctrica aplicada, a un electrodo que no transporta la corriente a rectificar, amplificar o conmutar
76
Dispositivos unipolares
772
Transistores de efecto de campo
78
estando producido el efecto de campo por una puerta aislada
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
02
Fabricación o tratamiento de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas
04
los dispositivos presentan al menos una barrera de potencial o una barrera de superficie, p. ej. una unión PN, una región de empobrecimiento, o una región de concentración de portadores de cargas
18
los dispositivos tienen cuerpos semiconductores que incluyen elementos del cuarto grupo de la Tabla Periódica, o de compuestos AIIIBVcon o sin impurezas, p. ej. materiales de dopado
334
Procedimientos que comportan varias etapas para la fabricación de dispositivos de tipo unipolar
335
Transistores de efecto de campo
336
con puerta aislada
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
29
Dispositivos semiconductores adaptados a la rectificación, amplificación, generación de oscilaciones o a la conmutación que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie; Condensadores o resistencias, que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie, p. ej. unión PN, región de empobrecimiento, o región de concentración de portadores de carga; Detalles de cuerpos semiconductores o de sus electrodos
02
Cuerpos semiconductores
06
caracterizados por su forma; caracterizado por las formas, las dimensiones relativas o las disposiciones de las regiones semiconductoras
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
29
Dispositivos semiconductores adaptados a la rectificación, amplificación, generación de oscilaciones o a la conmutación que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie; Condensadores o resistencias, que tienen al menos una barrera de potencial o de superficie, p. ej. unión PN, región de empobrecimiento, o región de concentración de portadores de carga; Detalles de cuerpos semiconductores o de sus electrodos
02
Cuerpos semiconductores
12
caracterizados por los materiales de los que están constituidos
Solicitantes:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661, JP
トヨタ自動車株式会社 TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 愛知県豊田市トヨタ町1番地 1, Toyota-cho, Toyota-shi, Aichi 4718571, JP
Personas inventoras:
竹内 有一 TAKEUCHI Yuichi; JP
箕谷 周平 MITANI Shuhei; JP
海老原 康裕 EBIHARA Yasuhiro; JP
山下 侑佑 MAYASHITA Yusuke; JP
三角 忠司 MISUMI Tadashi; JP
Mandataria/o:
特許業務法人ゆうあい特許事務所 YOU-I PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦一丁目6番5号 名古屋錦シティビル4階 Nagoya Nishiki City Bldg. 4F 1-6-5, Nishiki, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
Datos de prioridad:
2017-13391707.07.2017JP
2018-07481609.04.2018JP
Título (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 半導体装置およびその製造方法
Resumen:
(EN) According to the present invention, the longitudinal direction of trench gate structures and the longitudinal direction of stripe-shaped portions and electric field-blocking layers in a JFET part (3) are configured to be in the same direction and intersect the longitudinal direction of connection layers (9) of a second conductive type. By adopting such a configuration, the intervals between the trench gate structures can be set independently of the connection layers (9), and can be set narrower than in the case of disposing the connection layers (9) between the trench gate structures.
(FR) Selon la présente invention, la direction longitudinale des structures de grille de tranchée et la direction longitudinale de parties en forme de bande et de couches de blocage de champ électrique dans une partie JFET (3) sont configurées pour être dans la même direction et croisent la direction longitudinale de couches de connexion (9) d'un second type de conductivité. En adoptant une telle configuration, les intervalles entre les structures de grille de tranchée peuvent être réglés indépendamment des couches de connexion (9), et peuvent être réglés plus étroits que dans le cas de la disposition des couches de connexion (9) entre les structures de grille de tranchée.
(JA) トレンチゲート構造の長手方向とJFET部(3)のうちのストライプ状とされている部分および電界ブロック層(4)の長手方向を同方向とし、これらに対して第2導電型の連結層(9)の長手方向が交差するようにする。このような構成とすることで、トレンチゲート構造の間隔を連結層(9)に無関係に設定することができ、連結層(9)を各トレンチゲート構造の間に配置する場合と比較して狭くすることが可能となる。
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African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Japonés (JA)
Idioma de la solicitud: Japonés (JA)