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1. (WO2019009065) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
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Nº de publicación: WO/2019/009065 Nº de la solicitud internacional: PCT/JP2018/023311
Fecha de publicación: 10.01.2019 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 19.06.2018
CIP:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 43/02 (2006.01) ,B65D 53/02 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
67
Aparatos especialmente adaptados para el manejo de dispositivos semiconductores o eléctricos de estado sólido durante su fabricación o tratamiento; Aparatos especialmente adaptados para el manejo de obleas durante la fabricación o tratamiento de dispositivos o componentes semiconductores o eléctricos de estado sólido
673
que utilizan portadores especialmente adaptados
B TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES
65
TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES
D
RECIPIENTES PARA EL ALMACENAMIENTO O EL TRANSPORTE DE OBJETOS O MATERIALES, p. ej. SACOS, BARRILES, BOTELLAS, CAJAS, LATAS, CARTONES, ARCAS, BOTES, BIDONES, TARROS, TANQUES; ACCESORIOS O CIERRES PARA RECIPIENTES; ELEMENTOS DE EMBALAJE; PAQUETES
43
Cubiertas o tapas para recipientes en forma de caja
02
Tapas o tapones quitables
B TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES
65
TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES
D
RECIPIENTES PARA EL ALMACENAMIENTO O EL TRANSPORTE DE OBJETOS O MATERIALES, p. ej. SACOS, BARRILES, BOTELLAS, CAJAS, LATAS, CARTONES, ARCAS, BOTES, BIDONES, TARROS, TANQUES; ACCESORIOS O CIERRES PARA RECIPIENTES; ELEMENTOS DE EMBALAJE; PAQUETES
53
Elementos de estanqueidad o de embalaje; Estanqueidad realizada por materiales líquidos o plásticos
02
Collares o anillos
B TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES
65
TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES
D
RECIPIENTES PARA EL ALMACENAMIENTO O EL TRANSPORTE DE OBJETOS O MATERIALES, p. ej. SACOS, BARRILES, BOTELLAS, CAJAS, LATAS, CARTONES, ARCAS, BOTES, BIDONES, TARROS, TANQUES; ACCESORIOS O CIERRES PARA RECIPIENTES; ELEMENTOS DE EMBALAJE; PAQUETES
85
Recipientes, elementos de embalaje o paquetes especialmente adaptados a objetos o a materiales particulares
86
para elementos eléctricos
Solicitantes:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
Personas inventoras:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
Mandataria/o:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
Datos de prioridad:
2017-13370807.07.2017JP
Título (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Resumen:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (10) in which a substrate (W) is stored; a lid member (20) which closes an opening (11) of the container body (10); a lock mechanism with which the lid member (20) is fitted and which is locked on a portion to be locked of the container body (10); and a packing (P) interposed between the container body (10) and the lid member (20). The packing (P) includes a first packing (30) attached to the container body (10), and a second packing (40) attached to the lid member (20). The first packing (30) and the second packing (40), when viewed from a direction orthogonal to a closing direction (H) of the lid member (20), is positioned on the inside of the container body (10) with respect to the position of the portion to be locked. In this way, it is possible to improve sealing property with respect to internal negative pressure and positive pressure, and to provide a substrate storage container with improved internal cleanliness.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comprenant : un corps de récipient (10) dans lequel un substrat (W) est stocké; un élément de couvercle (20) qui renferme une ouverture (11) du corps de récipient (10); un mécanisme de verrouillage avec lequel l'élément de couvercle (20) est ajusté et qui est verrouillé sur une partie à verrouiller du corps de récipient (10); et une garniture (P) interposée entre le corps de récipient (10) et l'élément de couvercle (20). La garniture (P) comprend une première garniture (30) fixée au corps de récipient (10), et une seconde garniture (40) fixée à l'élément de couvercle (20). La première garniture (30) et la seconde garniture (40), lorsqu'elles sont vues depuis une direction orthogonale à une direction de fermeture (H) de l'élément de couvercle (20), sont positionnées sur l'intérieur du corps de récipient (10) par rapport à la position de la partie à verrouiller. De cette manière, il est possible d'améliorer la propriété d'étanchéité vis-à-vis de la pression négative interne et de la pression positive, et de fournir un récipient de stockage de substrat ayant une propreté interne améliorée.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納する容器本体(10)と、容器本体(10)の開口(11)を閉止する蓋体(20)と、蓋体(20)に設けられ、容器本体(10)の被係止部に係止される施錠機構と、容器本体(10)及び蓋体(20)との間に介在されるパッキン(P)と、を備える基板収納容器(1)であって、パッキン(P)は、容器本体(10)に取り付けられる第1パッキン(30)と、蓋体(20)に取り付けられる第2パッキン(40)と、を含み、第1パッキン(30)及び第2パッキン(40)は、蓋体(20)の閉止方向(H)に直交する方向から見たとき、被係止部の位置よりも、容器本体(10)の内側に位置するものである。これにより、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Japonés (JA)
Idioma de la solicitud: Japonés (JA)