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1. (WO2018179964) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
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Nº de publicación: WO/2018/179964 Nº de la solicitud internacional: PCT/JP2018/005296
Fecha de publicación: 04.10.2018 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 15.02.2018
CIP:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/30 (2006.01)
H ELECTRICIDAD
01
ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS
L
DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR
21
Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas
67
Aparatos especialmente adaptados para el manejo de dispositivos semiconductores o eléctricos de estado sólido durante su fabricación o tratamiento; Aparatos especialmente adaptados para el manejo de obleas durante la fabricación o tratamiento de dispositivos o componentes semiconductores o eléctricos de estado sólido
673
que utilizan portadores especialmente adaptados
B TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES
65
TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES
D
RECIPIENTES PARA EL ALMACENAMIENTO O EL TRANSPORTE DE OBJETOS O MATERIALES, p. ej. SACOS, BARRILES, BOTELLAS, CAJAS, LATAS, CARTONES, ARCAS, BOTES, BIDONES, TARROS, TANQUES; ACCESORIOS O CIERRES PARA RECIPIENTES; ELEMENTOS DE EMBALAJE; PAQUETES
85
Recipientes, elementos de embalaje o paquetes especialmente adaptados a objetos o a materiales particulares
30
para objetos especialmente sensibles a los daños por choques o compresión
Solicitantes:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041, JP
Personas inventoras:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
冨永 公徳 TOMINAGA Kiminori; JP
Mandataria/o:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
Datos de prioridad:
2017-06181327.03.2017JP
Título (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Resumen:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (2) that can house a substrate (W); and a gas supply member (50) that can supply a gas (G) from the outside of the container body (2) to an internal space, wherein the container body (2) is formed into a front-open box, and the gas supply member (50) is attached to a bottom surface (2f). The gas supply member (50) is configured such that function units (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) for changing the environment of the internal space to a different state are connected so as to be replaceable by being fitted. Thus, a substrate storage container that enables easy replacement of the function units for changing the environment of the internal space can be provided.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comportant : un corps de récipient (2) qui peut loger un substrat (W); et un élément d'alimentation en gaz (50) qui peut fournir un gaz (G) depuis l'extérieur du corps de récipient vers un espace interne, le corps de récipient (2) étant formé dans une boîte à ouverture avant, et l'élément d'alimentation en gaz (50) étant fixé à une surface inférieure (2f). L'élément d'alimentation en gaz (50) est configuré de telle sorte que des unités fonctionnelles (U; 3R, 3L, U1, U2, U3, U4) pour changer l'environnement de l'espace interne à un état différent sont reliées de façon à être remplaçables en étant ajustées. Ainsi, un récipient de stockage de substrat qui permet un remplacement facile des unités fonctionnelles pour changer l'environnement de l'espace interne peut être fourni.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納可能な容器本体(2)と、容器本体(2)の外部から内部空間に気体(G)を供給可能な給気部材(50)と、を備え、容器本体(2)をフロントオープンボックスに形成し、底面(2f)に給気部材(50)を取付けた基板収納容器(1)であって、給気部材(50)は、内部空間の環境を異なる状態に変更する機能ユニット(U;3R,3L,U1,U2,U3,U4)が、嵌合によって交換可能に接続されているものである。 これにより、内部空間の環境を変化させる機能ユニットを、簡単に交換することができる基板収納容器を提供することができる。
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organización Regional Africana de la Propiedad Intelectual (ORAPI) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Organización Eurasiática de Patentes (OEAP) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Japonés (JA)
Idioma de la solicitud: Japonés (JA)