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1. (WO2018139330) PSEUDO DEFECT SAMPLE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME, ULTRASOUND FLAW DETECTION MEASUREMENT CONDITION ADJUSTING METHOD, TARGET MATERIAL INSPECTING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
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Nº de publicación: WO/2018/139330 Nº de la solicitud internacional: PCT/JP2018/001351
Fecha de publicación: 02.08.2018 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 18.01.2018
CIP:
G01N 29/30 (2006.01)
G FISICA
01
METROLOGIA; ENSAYOS
N
INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS
29
Investigación o análisis de materiales por el empleo de ondas ultrasonoras, sonoras o infrasonoras; Visualización del interior de objetos por transmisión de ondas ultrasonoras o sonoras a través del objeto
22
Detalles
30
Disposiciones para la calibración o la comparación, p.ej. con objetos estándares
Solicitantes:
住友化学株式会社 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 東京都中央区新川二丁目27番1号 27-1, Shinkawa 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048260, JP
Personas inventoras:
菅原 裕明 SUGAWARA, Hiroaki; JP
西岡 宏司 NISHIOKA, Koji; JP
Mandataria/o:
中山 亨 NAKAYAMA, Tohru; JP
坂元 徹 SAKAMOTO, Toru; JP
Datos de prioridad:
2017-01057924.01.2017JP
2017-14669628.07.2017JP
Título (EN) PSEUDO DEFECT SAMPLE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME, ULTRASOUND FLAW DETECTION MEASUREMENT CONDITION ADJUSTING METHOD, TARGET MATERIAL INSPECTING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING SPUTTERING TARGET
(FR) ÉCHANTILLON À PSEUDO-DÉFAUT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE CONDITION DE MESURE POUR DÉTECTER UN DÉFAUT PAR ULTRASONS, PROCÉDÉ D'INSPECTION D'UN MATÉRIAU CIBLE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CIBLE DE PULVÉRISATION
(JA) 擬似欠陥サンプルおよびその製造方法、超音波探傷測定条件の調整方法、ターゲット素材の検査方法、並びに、スパッタリングターゲットの製造方法
Resumen:
(EN) The present invention provides a pseudo defect sample for adjusting an ultrasound flaw detection measurement condition for inspecting defects inside a target material, wherein the pseudo defect sample is provided with a base plate including a first surface and a second surface opposing the first surface, and the base plate has formed therein a counterbore from the first surface side to a first depth, and a flat-bottomed hole in a portion of the counterbore from a bottom surface of the counterbore to a second depth, and wherein a ratio φ/d of an equivalent circle diameter φ of the flat-bottomed hole to a second depth d of the flat-bottomed hole is at least equal to 0.08 and less than 0.40 when the equivalent circle diameter φ of the flat-bottomed hole is less than 0.3 mm, at least equal to 0.1 and less than 0.60 when the equivalent circle diameter φ of the flat-bottomed hole is at least equal to 0.3 mm and less than 0.4 mm, and at least equal to 0.11 and less than 1.60 when the equivalent circle diameter φ of the flat-bottomed hole is at least equal to 0.4 mm.
(FR) La présente invention concerne un échantillon à pseudo-défaut pour ajuster une condition de mesure de détection de défaut par ultrasons destinée à identifier des défauts à l'intérieur d'un matériau cible, où l'échantillon à pseudo-défaut comprend une plaque de base comportant une première surface et une seconde surface opposée à la première. Un contre-alésage est ménagé dans la plaque de base, côté première surface, allant jusqu'à une première profondeur et un trou à fond plat est formé dans une partie du contre-alésage depuis une surface inférieure du contre-alésage jusqu'à une seconde profondeur, où un rapport φ/d du diamètre de cercle équivalent φ du trou à fond plat à une seconde profondeur d du trou à fond plat est au moins égal à 0,08 et inférieur à 0,40 quand le diamètre de cercle équivalent φ du trou à fond plat est inférieur à 0,3 mm, au moins égal à 0,1 et inférieur à 0,60 quand le diamètre de cercle équivalent φ du trou à fond plat est au moins égal à 0,3 mm et inférieur à 0,4 mm, et au moins égal à 0,11 et inférieur à 1,60 quand le diamètre de cercle équivalent φ du trou à fond plat est au moins égal à 0,4 mm.
(JA) ターゲット素材の内部の欠陥を検査する超音波探傷測定条件の調整のための擬似欠陥サンプルであって、 前記擬似欠陥サンプルは、第1面及び該第1面に対向する第2面を含む基板を備え、 前記基板には、前記第1面側から第1の深さまでの座繰穴と、前記座繰穴の底面の一部に前記座繰穴の底面から第2の深さまでの平底穴とが形成され、 前記平底穴の円相当径φの前記平底穴の第2の深さdに対する割合φ/dは、 前記平底穴の円相当径φが0.3mm未満であるとき、0.08以上0.40未満であり、 前記平底穴の円相当径φが0.3mm以上0.4mm未満であるとき、0.1以上0.60未満であり、 前記平底穴の円相当径φが0.4mm以上であるとき、0.11以上1.60未満である、擬似欠陥サンプル
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Idioma de publicación: Japonés (JA)
Idioma de la solicitud: Japonés (JA)