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1. (WO2006017163) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional   

Nº de publicación: WO/2006/017163 Nº de la solicitud internacional: PCT/US2005/024237
Fecha de publicación: 16.02.2006 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 09.07.2005
CIP:
F26B 19/00 (2006.01) ,F27D 11/00 (2006.01)
F MECANICA; ILUMINACION; CALEFACCION; ARMAMENTO; VOLADURA
26
SECADO
B
SECADO DE MATERIALES SOLIDOS O DE OBJETOS POR ELIMINACION DEL LIQUIDO QUE CONTIENEN
19
Máquinas o aparatos para el secado de un material sólido o de objetos no cubiertos por los grupos F26B9/-F26B17/205
F MECANICA; ILUMINACION; CALEFACCION; ARMAMENTO; VOLADURA
27
ILUMINACION; CALENTAMIENTO; HORNOS; ESTUFAS
D
PARTES CONSTITUTIVAS O ACCESORIOS DE LOS HORNOS, ESTUFAS, HOGARES O RETORTAS DE DESTILACION, EN LA MEDIDA EN QUE SON COMUNES A MAS DE UN TIPO DE HORNO
11
Disposición de los elementos de calefacción eléctrica en o sobre los hornos
Solicitantes:
BAYNE, Christopher, J. [GB/US]; US (UsOnly)
DIAMOND SEMICONDUCTOR, INC. [US/US]; 16548 Oleander Avenue Los Gatos, CA 95032, US (AllExceptUS)
Personas inventoras:
BAYNE, Christopher, J.; US
Mandataria/o:
DORT, David, Bogart; Dort Close IP, PLLC Box 66148 Washington, DC 20035, US
Datos de prioridad:
10/889,30512.07.2004US
11/090,91726.03.2005US
Título (EN) VERSATILE SEMI-TOROIDAL PROCESSING FURNACE WITH AUTOMATIC AND RECONFIGURABLE WAFER EXCHANGE
(FR) FOUR DE TRAITEMENT SEMI-TOROIDAL POLYVALENT A ECHANGE DE PLAQUETTE AUTOMATIQUE ET RECONFIGURABLE
Resumen:
(EN) The present invention comprises a fully automated, fabrication compliant furnace with the advantages of the horizontal most of the advantages of the vertical furnace. One embodiment of the present invention is that it implements a multi-degree motion robot arm to move wafers from a loading area to a WIP station where the wafer are then loaded into wafer boats on a rotating cantilever system or directly onto a specialized and reconfigurable paddle designed to hold wafers: The wafers may be loaded in the horizontal processing position as well as the vertical processing position. Multiple levels of the semi-toroidal horizontal processors allow for multiple batches of wafers to be loaded, processed, cooled, and unloaded by the robot arm. The present invention reduces the footprint of the traditional horizontal or vertical furnaces, increases capacity and throughput, and allows for direct tube transfer.
(FR) L'invention concerne un four conforme entièrement automatique, ayant les avantages du four horizontal et la plupart des avantages du four vertical. Selon une variante, on décrit un bras de robot à mouvement sur plusieurs degrés pour le déplacement de plaquettes depuis une zone de chargement vers un poste de passage temporaire en cours de production (WIP), où la plaquette est ensuite chargée dans des porte-plaquettes sur un système en porte-à-faux rotatif ou directement sur un support de plaquettes spécialisé et reconfigurable. On peut charger les plaquettes en position de traitement horizontale et en position de traitement verticale. Les niveaux multiples des processeurs horizontaux semi-toroïdaux permettent le chargement, le traitement, le refroidissement et le déchargement de plusieurs lots de plaquettes, via le bras de robot. On réduit ainsi l'empreinte des fours horizontaux et verticaux classiques, en augmentant la capacité et le débit, et en permettant un transfert de tube direct.
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Estados designados: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Oficina Eurasiática de Patentes (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Idioma de publicación: Inglés (EN)
Idioma de la solicitud: Inglés (EN)