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1. (WO2008011879) DEVICE AND METHOD FOR A PROBE MICROSCOPIC EXAMINATION OF A SAMPLE
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional   

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Nº de publicación:    WO/2008/011879    Nº de la solicitud internacional:    PCT/DE2007/001342
Fecha de publicación: 31.01.2008 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 27.07.2007
CIP:
G01Q 10/04 (2010.01), G01Q 10/06 (2010.01)
Solicitantes: JPK INSTRUMENTS AG [DE/DE]; Bouchéstrasse 12, 12435 Berlin (DE) (Todos excepto los EE.UU.).
HAGGERTY, Michael [US/DE]; (DE) (Únicamente los EE.UU.)
Personas inventoras: HAGGERTY, Michael; (DE)
Mandataria/o: BITTNER, Thomas, L.; Boehmert & Boehmert, Hollerallee 32, 28209 Bremen (DE)
Datos de prioridad:
10 2006 036 526.7 28.07.2006 DE
Título (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR EINE SONDENMIKROSKOPISCHE UNTERSUCHUNG EINER PROBE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR A PROBE MICROSCOPIC EXAMINATION OF A SAMPLE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MICROSCOPIE PAR SONDE D'UN ÉCHANTILLON
Resumen: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine sondenmikroskopische Untersuchung einer Probe (30), insbesondere eine rastersondenmikroskopische Untersuchung, mit einer Messsonde (6) und einer Verlagerungseinrichtung (10, 12), die konfiguriert ist, mittels einer Relativbewegung zwischen der Messsonde (6) und einer Probeaufnahme die Messsonde (6) aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung zu bringen, wobei die Messsonde (6) wenigstens in der Endstellung relativ zu einer in der Probenaufhahme angeordneten Probe (3) in einer Messstellung ist, wobei die Verlagerungsvorrichtung (10, 12) eine Verlagerungseinheit (10), die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufhahme auszufuhren, und eine weitere Verlagerungseinheit (12) umfasst, die konfiguriert ist, bei der Relativbewegung eine weitere Teilverlagerung der Messsonde (6) relativ zu der Probenaufnahme auszufuhren, und wobei die Verlagerungseinheit (10) und die weitere Verlagerungseinheit (12) an eine Steuereinrichtung gekoppelt sind, die konfiguriert ist, eine Sollwertabweichung für die Teilverlagerung verarbeitend ein Steuersignal für die Ausführung der weiteren Teilverlagerung mittels der weiteren Verlagerungseinheit (12) bereitzustellen.
(EN)The invention relates to a device for a probe microscopic examination of a sample (30), particularly a scanning probe microscopic examination, having a measuring probe (6) and a displacement mechanism (10, 12), which is configured in such a manner to move the measuring probe (6) from an initial position into an end position by means of a relative movement between the measuring probe (6) and a sample-holder, wherein the measuring probe (6)is in a measuring position, at least in the end position relative to a sample (3) disposed in the sample-holder, wherein the measuring probe (6) is in a measuring position at least in the end position relative to a probe (3) that is disposed in the sample-holder, wherein the displacement mechanism (10, 12) comprises a displacement device (10), which is configured to perform a partial displacement of the measuring probe (6) relative to the sample-holder in a relative movement, relative movement, and a further displacement device (12), which is configured to perform a further partial displacement of the measuring probe (6) relative to the sample-holder in a relative movement, and wherein the displacement device (10) and the further displacement device (12) are coupled to a control device, which is configured to provide a target value deviation for the partial displacement processing a control signal for the performance of the further partial displacement by means of the further displacement device (12).
(FR)L'invention concerne un dispositif de microscopie par sonde d'un échantillon (30), en particulier de microscopie en champ propre, avec une sonde de mesure (6) et un dispositif de déplacement (10, 12) qui est configuré pour amener la sonde de mesure (6), par un mouvement relatif entre la sonde de mesure (6) et un logement d'échantillon, d'une position initiale dans une position finale, la sonde de mesure (6) étant dans une position de mesure au moins en position finale par rapport à un échantillon (3) disposé dans le logement d'échantillon. Le dispositif de déplacement (10, 12) comporte une unité de déplacement (10) qui est configurée pour exécuter, lors du mouvement relatif, un déplacement partiel de la sonde de mesure (6) par rapport au logement d'échantillon, et une autre unité de déplacement (12), qui est configurée pour exécuter, lors du mouvement relatif, un autre déplacement partiel de la sonde de mesure (6) par rapport au logement d'échantillon. L'unité de déplacement (10) et l'autre unité de déplacement (12) sont couplées à un dispositif de commande qui, en traitant un écart de la valeur de consigne pour le déplacement partiel, est configuré pour fournir un signal de commande pour l'exécution de l'autre déplacement partiel au moyen de l'autre unité de déplacement (12).
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organización Regional Africana de la Propiedad Intelectual (ORAPI) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Organización Eurasiática de Patentes (OEAP) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Idioma de publicación: alemán (DE)
Idioma de la solicitud: alemán (DE)