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1. (WO2014083151) STATION AND METHOD FOR MEASURING PARTICULATE CONTAMINATION OF A TRANSPORT CHAMBER FOR CONVEYING AND ATMOSPHERICALLY STORING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional   

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Nº de publicación:    WO/2014/083151    Nº de la solicitud internacional:    PCT/EP2013/075075
Fecha de publicación: 05.06.2014 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 29.11.2013
CIP:
H01L 21/673 (2006.01)
Solicitantes: ADIXEN VACUUM PRODUCTS [FR/FR]; 98 Avenue de Brogny F-74000 Annecy (FR)
Personas inventoras: THOVEX, Cindy; (FR).
BOUNOUAR, Julien; (FR).
FAVRE, Arnaud; (FR)
Mandataria/o: CROONENBROEK, Thomas; 11 Avenue des Tilleuls F-74200 Thonon Les Bains (FR)
Datos de prioridad:
1261451 30.11.2012 FR
Título (EN) STATION AND METHOD FOR MEASURING PARTICULATE CONTAMINATION OF A TRANSPORT CHAMBER FOR CONVEYING AND ATMOSPHERICALLY STORING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION EN PARTICULES D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS
Resumen: front page image
(EN)The invention relates to a station for measuring particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates, said transport chamber including a rigid enclosure (2) provided with an opening and a removable door (3) that enables the opening to be closed. The measuring station comprises: a chamber (4) having a controlled environment, comprising at least one loading port (8) suitable for being coupled to the rigid enclosure (2) and also to the door (3) of the transport chamber such as to move the door (3) into the chamber (4) having a controlled environment and place the inside of the rigid enclosure (2) in communication with the inside of the chamber (4) having a controlled environment ; and a measurement module (5) comprising a unit (14) for measuring the particles, and an enclosure measurement interface (16) configured such as to be coupled to the rigid enclosure (2) transport chamber coupled to the chamber (4) having a controlled environment, instead of to the door (3). Said measurement station is characterized in that said enclosure measurement interface (16) comprises a measurement head projecting from a base of an enclosure measurement interface, having a first sampling opening (12) connected to the unit (14), for measuring the particles, and at least two injection nozzles (20) configured to direct a gas stream onto at least two separate places of the rigid enclosure (2) coupled to the chamber (4) having a controlled environment. The respective orientations of the injection nozzles (20) are stationary relative to the coupled rigid enclosure (2). The invention also relates to a method for measuring particulate contamination of a transport chamber for conveying and atmospherically storing semiconductor substrates.
(FR)L'invention concerne une station de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, ladite enceinte de transport comprenant une enveloppe rigide (2) munie d'une ouverture et une porte (3) amovible permettant d'obturer l'ouverture, la station de mesure comportant : - une chambre à environnement contrôlé (4) comportant au moins un port de chargement (8) susceptible de s'accoupler d'une part à l'enveloppe rigide (2) et d'autre part à la porte (3) de l'enceinte de transport, pour déplacer la porte (3) dans la chambre à environnement contrôlé (4) et mettre l'intérieur de l'enveloppe rigide (2) en communication avec l'intérieur de la chambre à environnement contrôlé (4), - un module de mesure (5) comportant une unité de mesure des particules (14) et une interface de mesure enveloppe (16) configurée pour s'accoupler à l'enveloppe rigide (2) d'enceinte de transport accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4) à la place de la porte (3), caractérisée en ce que ladite interface de mesure enveloppe (16) comporte une tête de mesure faisant saillie d'une base de l'interface de mesure enveloppe portant un premier orifice de prélèvement (12) raccordé à l'unité de mesure des particules (14) et au moins deux buses d'injection (20) configurées pour diriger un jet de gaz sur au moins deux endroits distincts de l'enveloppe rigide (2) accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4), les orientations respectives des buses d'injection (20) étant fixes par rapport à l'enveloppe rigide (2) accouplée. L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs.
Estados designados: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organización Regional Africana de la Propiedad Intelectual (ORAPI) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Organización Eurasiática de Patentes (OEAP) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organización Africana de la Propiedad Intelectual (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Idioma de publicación: francés (FR)
Idioma de la solicitud: francés (FR)