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1. (WO2002019405) POLISHING DEVICE
Datos bibliográficos más recientes de la Oficina Internacional   

TranslationTraducir: Original-->español
Nº de publicación:    WO/2002/019405    Nº de la solicitud internacional:    PCT/JP2001/007323
Fecha de publicación: 07.03.2002 Fecha de presentación de la solicitud internacional: 28.08.2001
Se presentó la solicitud en virtud del Capítulo II:    27.12.2001    
CIP:
B24B 37/10 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Solicitantes: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Todos excepto los EE.UU.).
SUGAYA, Isao [JP/JP]; (JP) (Únicamente los EE.UU.)
Personas inventoras: SUGAYA, Isao; (JP)
Mandataria/o: HOSOE, Toshiaki; Corpo Fuji 605 3-6, Nishikanagawa 1-Chome, Kanagawa-ku Yokohama-Shi, Kanagawa 221-0822 (JP)
Datos de prioridad:
2000-260201 30.08.2000 JP
Título (EN) POLISHING DEVICE
(FR) POLISSOIR
Resumen: front page image
(EN)A polishing device, wherein, when a wafer (2) is polished, the guide face (5a) of a ring-shaped guide member (5) is raised by an air cylinder (15) to a position generally flush with the polishing surface of the wafer (2) held by a holding part (3) and the guide face (5a) supports the extruded portion of a polishing body (7) and, when the wafer (2) is loaded onto and unloaded from the loading part (3), the guide member (5) is moved downward by the air cylinder (15) to take shelter at a position not interfered with the holding part of a wafer transporting device, whereby, when a polished article is loaded and unloaded by using the transporting device having the holding part holding the outer peripheral part of the polished article, the polished article can be polished more uniformly and the wear of the polishing body can be reduced.
(FR)La présente invention concerne un polissoir tel que, pendant le polissage d'une plaquette (2), la face de guidage (5a) d'un élément de guidage de forme annulaire (5) se relève sous l'action d'un vérin pneumatique (15) jusqu'à venir généralement dans le plan de la surface de polissage de la plaquette (2) tenue par le porte-plaquette (3), la face de guidage (5a) servant de support à la partie extrudée d'un corps de polissage (7). En outre, au chargement et déchargement de la plaquette (2) par rapport au porte-plaquette (3), l'élément de guidage (5) s'abaisse sous l'action du vérin pneumatique (15) pour se réfugier en un point ne gênant pas le porte-plaquette du transporteur. Ainsi, une fois que la pièce a été chargée et déchargée par transporteur, le porte-plaquette tenant la pièce polie par son pourtour, cette pièce polie peut être polie de façon plus uniforme, l'usure du corps de polissage pouvant être réduite.
Estados designados: CN, KR, SG, US.
Oficina Europea de Patentes (OEP) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Idioma de publicación: Japonés (JA)
Idioma de la solicitud: Japonés (JA)