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1. KR1020170093910 - 2개의 단부 블록을 가지는 장치, 조립체 및 이를 포함하는 스퍼터 시스템, 그리고 그 장치 또는 조립체를 이용하여 표적 조립체에 RF 전력을 제공하는 방법

Office Republic of Korea
Application Number 1020177018670
Application Date 08.12.2015
Publication Number 1020170093910
Publication Date 16.08.2017
Publication Kind A
IPC
H01J 37/32
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
H01J 37/34
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
34operating with cathodic sputtering
CPC
H01J 37/32082
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
H01J 37/3405
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3402using supplementary magnetic fields
3405Magnetron sputtering
H01J 37/3444
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3411Constructional aspects of the reactor
3444Associated circuits
H01J 37/347
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3464Operating strategies
347Thickness uniformity of coated layers or desired profile of target erosion
Applicants 솔레라스 어드밴스드 코팅스 비브이비에이
Inventors 데 보셰르 빌메르트
판 데 풋테 이반
Agents 양영준
안국찬
Priority Data 14196851 08.12.2014 EP
Title
(KO) 2개의 단부 블록을 가지는 장치, 조립체 및 이를 포함하는 스퍼터 시스템, 그리고 그 장치 또는 조립체를 이용하여 표적 조립체에 RF 전력을 제공하는 방법
Abstract
(KO)
스퍼터 시스템(600)에서 이용하기 위한 장치(602)가, 스퍼터 시스템의 대향 측면들에 배치된 적어도 제1 단부 블록(631) 및 제2 단부 블록(632)을 포함한다. 그러한 장치는, 적어도 하나의 표적 관 또는 스퍼터 마그네트론을 포함하는 표적 조립체가, 제1 및 제2 단부 블록(631, 632)에 장착될 때, 조립체의 양 측면에서 RF 전력으로 능동적으로 전력 공급될 수 있도록, 그리고 표적 조립체가, 장착될 때, 표적 관 또는 스퍼터 마그네트론의 양 극단에서 동시에 RF 전력으로 연속적으로 능동적으로 전력 공급되지 않도록, 구성된다. 그러한 장치 및 제어 유닛을 포함하는 조립체(601)와, RF 전력을 임피던스 표적 조립체에 적용하기 위한 방법이 또한 제공되고, 그러한 제어 유닛은, 장착되었을 때, 표적 조립체가 표적 관 또는 스퍼터 마그네트론의 양 극단에서 동시에 RF 전력으로 연속적으로 능동적으로 전력 공급되지 않도록, RF 전력에 의한 표적 조립체의 대향 측면들의 전력 공급을 제어한다.