(JA)
スパッタシステム(600)に用いるための装置(602)は、そのスパッタシステムのそれぞれ反対側に配置された少なくとも第1の端ブロック(631)及び第2の端ブロック(632)を備える。その装置は、少なくとも1つのターゲット管またはスパッタマグネトロンを備えるターゲットアセンブリが、第1及び第2の端ブロック(631、632)に装着されたときに、アセンブリの両側でRF電源により能動的に電力供給され得るように、かつ、ターゲットアセンブリが、装着されたときに、ターゲット管またはスパッタマグネトロンの両端で同時にRF電源により連続的に電力が能動的に電力供給されないように、適合される。該装置と、制御ユニットと、を備えるアセンブリ(601)であって、該制御ユニットは、ターゲットアセンブリが、装着されたときに、ターゲット管またはスパッタマグネトロンの両端で同時にRF電力により連続的に能動的に電力供給されないように、ターゲットアセンブリの両側でRF電力による電力供給を制御する、アセンブリ(601)、ならびにインピーダンス・ターゲットアセンブリにRF電力を適用する方法もまた提供される。
【選択図】図6