Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2023283375 - SHOWERHEAD ASSEMBLY WITH RECURSIVE GAS CHANNELS

Publication Number WO/2023/283375
Publication Date 12.01.2023
International Application No. PCT/US2022/036413
International Filing Date 07.07.2022
IPC
H01J 37/32 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes
Applicants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventors
  • BEHNKE, Joseph Frederick
  • WAKABAYASHI, Reyn Tetsuro
  • WONG, Carlaton
  • FRANKLIN, Timothy Joseph
  • SOMMERS, Joseph F.
Agents
  • PATEL, Ronak A.
  • TABOADA, Alan
  • LINARDAKIS, Leonard P.
Priority Data
17/370,61908.07.2021US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SHOWERHEAD ASSEMBLY WITH RECURSIVE GAS CHANNELS
(FR) ENSEMBLE POMME DE DOUCHE À CANAUX DE GAZ RÉCURSIFS
Abstract
(EN) Embodiments of showerheads are provided herein. In some embodiments, a showerhead assembly includes a chill plate comprising a gas plate and a cooling plate having an aluminum-silicon foil interlayer disposed therebetween for diffusion bonding the gas plate to the cooling plate and a heater plate comprising a first plate, a second plate, and a third plate, wherein an aluminum-silicon foil interlayer is disposed between the first plate and the cooling plate for diffusion bonding the first plate to the cooling plate, wherein an aluminum-silicon foil interlayer is disposed between the first plate and the second plate for diffusion bonding the first plate to the second plate, and wherein an aluminum-silicon foil interlayer is disposed between the second plate and the third plate for diffusion bonding the second plate to the third plate.
(FR) La présente invention concerne des modes de réalisation de pommes de douche. Dans certains modes de réalisation, un ensemble pomme de douche est constitué d'une plaque de refroidissement comprenant une plaque de gaz et une plaque de refroidissement ayant une couche intermédiaire de feuille d'aluminium-silicium disposée entre celles-ci à des fins de liaison par diffusion de la plaque de gaz à la plaque de refroidissement et une plaque chauffante comprenant une première plaque, une deuxième plaque et une troisième plaque, une couche intermédiaire de feuille d'aluminium-silicium étant disposée entre la première plaque et la plaque de refroidissement à des fins de liaison par diffusion de la première plaque à la plaque de refroidissement, une couche intermédiaire de feuille d'aluminium-silicium étant disposée entre la première plaque et la deuxième plaque à des fins de liaison par diffusion de la première plaque à la deuxième plaque, et une couche intermédiaire de feuille d'aluminium-silicium étant disposée entre la deuxième plaque et la troisième plaque à des fins de liaison par diffusion de la deuxième plaque à la troisième plaque.
Related patent documents
Latest bibliographic data on file with the International Bureau