(EN) This wavelength measuring apparatus comprises: a first spectroscope that has a first free spectral range and that generates a first measured waveform from the interference pattern of pulse laser light; a second spectroscope that has a second free spectral range narrower than the first free spectral range and that generates a second measured waveform from the interference pattern of the pulse laser light; and a processor that reads data in a first measurement range of the first spectroscope, sets a second measurement range of the second spectroscope on the basis of the data in the first measurement range, reads data in the second measurement range, and calculates the center wavelength of the pulse laser light on the basis of the data in the first measurement range and the data in the second measurement range.
(FR) Appareil de mesure de longueur d'onde comprenant : un premier spectroscope qui présente une première plage spectrale libre et qui génère une première forme d'onde mesurée à partir du motif d'interférence de lumière laser pulsée ; un second spectroscope qui présente une seconde plage spectrale libre plus étroite que la première plage spectrale libre et qui génère une seconde forme d'onde mesurée à partir du motif d'interférence de la lumière laser pulsée ; et un processeur qui lit des données dans une première plage de mesure du premier spectroscope, définit une seconde plage de mesure du second spectroscope sur la base des données dans la première plage de mesure, lit des données dans la seconde plage de mesure, et calcule la longueur d'onde centrale de la lumière laser pulsée sur la base des données dans la première plage de mesure et des données dans la seconde plage de mesure.
(JA) 波長計測装置は、第１のフリースペクトラルレンジを有し、パルスレーザ光の干渉パターンから第１の計測波形を生成する第１の分光器と、第１のフリースペクトラルレンジより小さい第２のフリースペクトラルレンジを有し、パルスレーザ光の干渉パターンから第２の計測波形を生成する第２の分光器と、第１の分光器の第１の計測範囲のデータを読み出し、第１の計測範囲のデータに基づいて第２の分光器の第２の計測範囲を設定し、第２の計測範囲のデータを読み出し、第１の計測範囲のデータ及び第２の計測範囲のデータに基づいてパルスレーザ光の中心波長を算出するプロセッサと、を備える。
