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1. WO2022208774 - SAMPLE HOLDER AND ELECTRON MICROSCOPE

Publication Number WO/2022/208774
Publication Date 06.10.2022
International Application No. PCT/JP2021/013940
International Filing Date 31.03.2021
IPC
H01J 37/20 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
CPC
H01J 37/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 朝倉 佑吏 ASAKURA, Yuji
  • 波田野 道夫 HATANO, Michio
  • 中村 光宏 NAKAMURA, Mitsuhiro
Agents
  • 弁理士法人筒井国際特許事務所 TSUTSUI & ASSOCIATES
Priority Data
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) SAMPLE HOLDER AND ELECTRON MICROSCOPE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
(JA) 試料ホルダおよび電子顕微鏡
Abstract
(EN) The present invention improves the performance of a sample holder that can be filled with a liquid sample. A sample holder (200) has an upper chip (300) that is arranged on an electron beam irradiation side and a lower chip (400) that is arranged opposite the upper chip (300). The sample holder (200) comprises a diaphragm (350) that is provided to the upper chip (300), a diaphragm (450) that is provided to the lower chip (400), a space (600) that is sandwiched between diaphragm (350) and diaphragm (450) and can be filled with liquid, and a guide part (340) that guides liquid that exceeds the amount of liquid with which the space (600) can be filled such that the liquid drips from the reverse side from the electron beam irradiation side.
(FR) La présente invention améliore les performances d'un porte-échantillon qui peut être rempli d'un échantillon liquide. Un porte-échantillon (200) présente une puce supérieure (300) qui est disposée sur un côté d'irradiation de faisceau d'électrons et une puce inférieure (400) qui est disposée à l'opposé de la puce supérieure (300). Le porte-échantillon (200) comprend un diaphragme (350) qui est disposé sur la puce supérieure (300), un diaphragme (450) qui est disposé sur la puce inférieure (400), un espace (600) qui est pris en sandwich entre le diaphragme (350) et le diaphragme (450) et qui peut être rempli de liquide, et une partie de guidage (340) qui guide le liquide qui dépasse la quantité de liquide avec laquelle l'espace (600) peut être rempli de telle sorte que le liquide s'écoule du côté inverse depuis le côté d'irradiation de faisceau d'électrons.
(JA) 液体試料を充填可能な試料ホルダの性能を向上させる。試料ホルダ(200)は、電子線の照射側に配置される上側チップ(300)と、上側チップ(300)と対向して配置される下側チップ(400)を有する。このとき、試料ホルダ(200)は、上側チップ(300)に設けられた隔膜(350)と、下側チップ(400)に設けられた隔膜(450)と、隔膜(350)と隔膜(450)に挟まれ、かつ、液体を充填可能な空間(600)と、空間(600)に充填可能な液体量を超える液体が電子線の照射側とは反対側から滴下されるように誘導する誘導部(340)を備える。
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