(EN) This strain sensor comprises a film substrate, a strain detection element formed on an upper surface of the film substrate, and a shield film surrounding the periphery of the strain detection element with a space from the strain detection element in a plan view.
(FR) Ce capteur de contrainte comprend un substrat de film, un élément de détection de contrainte formé sur une surface supérieure du substrat de film, et un film de protection entourant la périphérie de l'élément de détection de contrainte avec un espace à partir de l'élément de détection de contrainte dans une vue en plan.
(JA) 本歪みセンサは、フィルム基板と、前記フィルム基板の上面に形成された歪み検出素子と、平面視、前記歪み検出素子と離間して前記歪み検出素子の周辺を囲うシールド膜と、を有する。
