(EN) Provided is a technique relating to an optical foreign matter inspection device, whereby such effects as a reduction in the amount of deviation of foreign matter position coordinates can be achieved. An optical foreign matter inspection device 1 comprises: a rotating stage 102; a laser light source 104 for radiating a laser beam to a surface of a sample 101; a sensor 105 for detecting scattered light; an A/D conversion circuit 106 for converting sensor output to a digital pixel; a data processing unit 107 to which ADC output and rotation angle information (encoder signal) from the rotating stage 102 are inputted, the data processing unit 107 associating the rotation angle information with the ADC output and outputting the same as detection data; and a deviation amount measurement unit 108 for measuring a deviation amount relating to a rotation angle or position on the surface of the sample 101 for each rotation condition of the rotating stage 102 on the basis of the detection data, associating the deviation amount for each rotation condition, and storing the associated deviation amounts as data (deviation amount table 109); and, on the basis of the detection data, the optical foreign matter inspection device 1 uses the deviation amount for each rotation condition to generate data (mapping image 190) in which the deviation at a position on the surface of the sample 101 is corrected.
(FR) L'invention concerne une technique associée à un dispositif d'inspection de matière étrangère optique, permettant d'obtenir des effets tels que la réduction de la quantité d'écart de coordonnées de position de la matière étrangère. Un dispositif (1) d'inspection de matière étrangère optique comprend : un étage rotatif (102) ; une source de lumière laser (104) pour exposer une surface d'un échantillon (101) à un faisceau laser ; un capteur (105) pour détecter la lumière diffusée ; un circuit de conversion A/N (106) pour convertir une sortie de capteur en un pixel numérique ; une unité de traitement de données (107) dans laquelle sont entrées une sortie de CAN et des informations d'angle de rotation (signal de codeur) provenant de l'étage rotatif (102), l'unité de traitement de données (107) associant les informations d'angle de rotation à la sortie de CAN et les délivrant en tant que données de détection ; et une unité de mesure de quantité d'écart (108) pour mesurer une quantité d'écart associée à un angle de rotation ou à une position sur la surface de l'échantillon (101) pour chaque état de rotation de l'étage rotatif (102) sur la base des données de détection, pour associer la quantité d'écart pour chaque état de rotation et pour stocker les quantités d'écart associées en tant que données (table de quantité d'écart 109) ; et, sur la base des données de détection, le dispositif (1) d'inspection de matière étrangère optique utilise la quantité d'écart pour chaque état de rotation pour générer des données (image de mappage 190) où l'écart à une position sur la surface de l'échantillon (101) est corrigé.
(JA) 光学式異物検査装置に関して、異物位置座標のずれの低減等を実現できる技術を提供する。光学式異物検査装置１は、回転ステージ１０２と、試料１０１の表面にレーザビームを照射するレーザ光源１０４と、散乱光を検出するセンサ１０５と、センサ出力をデジタル画素に変換するＡ／Ｄ変換回路１０６と、ＡＤＣ出力と、回転ステージ１０２からの回転角度情報（エンコーダ信号）とを入力し、ＡＤＣ出力に回転角度情報を関連付けて検出データとして出力するデータ処理部１０７と、検出データに基づいて、回転ステージ１０２の回転条件ごとに、試料１０１の表面での回転角度または位置に関するずれ量を計測し、回転条件ごとのずれ量を関連付けてデータ（ずれ量テーブル１０９）として保存しておくずれ量計測部１０８とを備え、検出データに基づいて、回転条件ごとのずれ量を用いて、試料１０１の表面での位置におけるずれを補正したデータ（マッピング画像１９０）を生成する。
