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1. WO2022118956 - MAGNETIZATION MEASURING DEVICE, AND MAGNETIZATION MEASURING METHOD

Publication Number WO/2022/118956
Publication Date 09.06.2022
International Application No. PCT/JP2021/044469
International Filing Date 03.12.2021
IPC
G01N 23/2209 2018.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/-G01N17/178
22by measuring secondary emission from the material
2209using wavelength dispersive spectroscopy
CPC
G01N 23/2209
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
2209using wavelength dispersive spectroscopy [WDS]
Applicants
  • 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 NATIONAL INSTITUTES FOR QUANTUM SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP]/[JP]
Inventors
  • 稲見 俊哉 INAMI, Toshiya
  • 菅原 健人 SUGAWARA, Kento
  • 綿貫 徹 WATANUKI, Tetsu
  • 小出 明広 KOIDE, Akihiro
  • 野村 拓司 NOMURA, Takuji
Agents
  • 弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
Priority Data
2021-00244508.01.2021JP
63/121,55204.12.2020US
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) MAGNETIZATION MEASURING DEVICE, AND MAGNETIZATION MEASURING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MAGNÉTISATION
(JA) 磁化測定装置及び磁化測定方法
Abstract
(EN) The present invention achieves a magnetization measuring device with which it is easy to maximize the measurement sensitivity or minimize measurement errors, and to set the depth of a measurement target point, of which the magnetization is to be measured, to a desired depth. A magnetization measuring device (1) is provided with: a phase shifter (12) which converts each circularly polarized light component contained in characteristic X-rays emitted by a sample (S) into linearly polarized light components having different polarization directions; a double-crystal spectrometer (13) which selectively reflects a linearly polarized light component having a specific polarization direction, a specific direction of travel, and a specific energy, from among the linearly polarized light components contained in the characteristic X-rays that have been transmitted through the phase shifter (12); and a detector (14) which detects the intensity of the linearly polarized light component reflected by the double-crystal spectrometer (13).
(FR) La présente invention permet d'obtenir un dispositif de mesure de magnétisation avec lequel il est facile de maximiser la sensibilité de mesure ou de minimiser les erreurs de mesure, et de régler la profondeur d'un point cible de mesure, dont la magnétisation doit être mesurée, à une profondeur souhaitée. Un dispositif de mesure de magnétisation (1) est pourvu : d'un déphaseur (12) qui convertit chaque composante de lumière à polarisation circulaire contenue dans des rayons X caractéristiques émis par un échantillon (S) en composants de lumière à polarisation linéaire ayant différentes directions de polarisation ; d'un spectromètre à double cristal (13) qui réfléchit de manière sélective un composant de lumière à polarisation linéaire ayant une direction de polarisation spécifique, une direction de déplacement spécifique et une énergie spécifique, parmi les composantes de lumière à polarisation linéaire contenues dans les rayons X de caractéristiques qui ont été transmis à travers le déphaseur (12) ; et d'un détecteur (14) qui détecte l'intensité du composant de lumière à polarisation linéaire réfléchi par le spectromètre à double cristal (13).
(JA) 測定感度の最大化又は測定誤差の最小化を図ったり、磁化を測定する測定対象点の深さを所望の深さに設定したりすることが容易な磁化測定装置を実現する。磁化測定装置(1)は、試料(S)が発する特性X線に含まれる各円偏光成分を偏光方向の異なる直線偏光成分に変換する移相子(12)と、移相子(12)を透過した特性X線に含まれる直線偏光成分のうち、特定の偏光方向、特定の進行方向、及び、特定のエネルギーを有する直線偏光成分を選択的に反射する二結晶分光器(13)と、二結晶分光器(13)にて反射された直線偏光成分の強度を検出する検出器(14)と、を備えている。
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JP2022567003This application is not viewable in PATENTSCOPE because the national phase entry has not been published yet or the national entry is issued from a country that does not share data with WIPO or there is a formatting issue or an unavailability of the application.
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