(EN) Provided is a method for manufacturing a functional film-coated water, wherein, even if a high-viscosity coating-type material is used as the coating-type material containing a functional film constituent component, the functional film on an outer circumferential section of the wafer surface can be cleanly removed, an end face of the removed functional film has a favorable shape, and a flat functional film can be formed. Furthermore, contamination attributed to a coating film remaining on a beveled section or back face of the wafer does not occur, and the outer circumferential section of the effective wafer surface for practical applications is exposed in a ring shape. The method for manufacturing a functional film-coated wafer in which the outer circumferential section of the wafer surface is exposed in a ring shape comprises: a step (A) for spin coating a high-viscosity coating-type material containing a functional film constituent component onto a wafer surface to form a coating film; after the step (A), a step (B-1) for, while rotating the wafer, supplying a cleaning liquid to the outer circumferential section of the water surface on which the coating film was formed, and removing the coating film from the outer circumferential section of the wafer surface; after the step (B-1), a step (C) for heating the coating film on the wafer to form a fluidity suppression film that suppresses fluidity of the coating film; after the step (C), a step (D-1) for, while rotating the wafer, supplying a cleaning liquid to the outer circumferential section of the wafer surface on which the fluidity suppression film was formed, and removing the fluidity suppression film from the wafer surface; and, after the step (D-1), a step (E) for heating the fluidity suppression film on the wafer so as to manifest the function of the functional film constituent component and form a functional film.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'une tranche revêtue d'un film fonctionnel, dans lequel, même en cas d'utilisation d'un matériau de type revêtement à viscosité élevée en tant que matériau de type revêtement contenant un composant constitutif d'un film fonctionnel, le film fonctionnel sur une section circonférentielle externe de la surface de la tranche peut être éliminé de manière nette, une face d'extrémité du film fonctionnel retiré présente une forme avantageuse, et un film fonctionnel plat peut être formé. En outre, la contamination attribuée à un film de revêtement restant sur une section biseautée ou une face arrière de la tranche ne se produit pas, et la section circonférentielle externe de la surface de la tranche efficace pour des applications pratiques est mise à nue sous la forme d'un anneau. Le procédé de fabrication d'une tranche revêtue d'un film fonctionnel, dans lequel la section circonférentielle externe de la surface de la tranche est mise à nue sous la forme d'un anneau, comprend : une étape (A) consistant à déposer à la tournette un matériau de type revêtement à viscosité élevée contenant un composant constitutif d'un film fonctionnel sur une surface de la tranche pour former un film de revêtement ; après l'étape (A), une étape (B-1) consistant à amener, tout en faisant tourner la tranche, un liquide de nettoyage jusqu'à la section circonférentielle externe de la surface de la tranche sur laquelle le film de revêtement a été formé, et à retirer le film de revêtement de la section circonférentielle externe de la surface de la tranche ; après l'étape (B-1), une étape (C) consistant à chauffer le film de revêtement sur la tranche pour former un film à fluidité inhibée qui inhibe la fluidité du film de revêtement ; après l'étape (C), une étape (D-1) consistant à amener, tout en faisant tourner la tranche, un liquide de nettoyage jusqu'à la section circonférentielle externe de la surface de la tranche sur laquelle le film à fluidité inhibée a été formé, et à retirer le film à fluidité inhibée de la surface de la tranche ; et, après l'étape (D-1), une étape (E) consistant à chauffer le film à fluidité inhibée sur la tranche de façon à révéler la fonction du composant constitutif du film fonctionnel et à former un film fonctionnel.
(JA) 機能膜付きウエハーの製造方法において、機能膜構成成分を含む塗布型材料として高粘度塗布型材料を用いた場合であっても、ウエハーの表面の外周部の機能膜がきれいに除去されており、除去された機能膜の端面が良好な形状を有し、平坦な機能膜が形成でき、さらにウエハーのベベル部や裏面に塗膜残存に起因した汚れもない、実用上有効なウエハー表面の外周部が環状に露出した機能膜付きウエハーの製造方法を提供する。 ウエハーの表面に、機能膜構成成分を含む高粘度塗布型材料をスピンコートして、塗膜を形成する工程(A)と、前記工程(A)の後に、前記ウエハーを回転させながら、前記塗膜が形成された前記ウエハーの表面の外周部に洗浄液を供給し、前記ウエハーの表面の外周部の前記塗膜を除去する工程(B-1)と、前記工程(B-1)の後に、前記ウエハー上の前記塗膜を加熱して、塗膜の流動性を抑えた流動性抑制膜を形成する工程(C)と、前記工程(C)の後に、前記ウエハーを回転させながら、前記流動性抑制膜が形成された前記ウエハーの表面の外周部に洗浄液を供給し、前記ウエハーの表面の前記流動性抑制膜を除去する工程(D-1)と、前記工程(D-1)の後に、前記ウエハー上の前記流動性抑制膜を加熱して、前記機能膜構成成分の機能を発揮させ、機能膜とする工程(E)とを含む、ウエハーの表面の外周部が環状に露出した機能膜付きウエハーの製造方法である。