(EN) A radiation source contains a collector module comprising an optical collector, positioned in a vacuum chamber with an emitting plasma, further comprising a means for debris mitigation which include at least two casings arranged to output debris-free homocentric beams of the short-wavelength radiation, coming to the optical collector preferably consisting of several identical mirrors. Outside each casing there are permanent magnets that create a magnetic field inside the casings to mitigate charged fraction of debris particles and provide the debris-free homocentric beams of short-wavelength radiation. Other debris mitigating techniques are additionally used. Preferably the plasma is laser-produced plasma of a liquid metal target supplied by a rotating target assembly to a focus area of a laser beam. The technical result of the invention is the creation of high-powerful high-brightness debris-free sources of short-wavelength radiation with large, preferably more than 0.25 sr, collection solid angle.
(FR) L'invention concerne une source de rayonnement contenant un module collecteur comprenant un collecteur optique, positionné dans une chambre à vide avec un plasma émetteur, comprenant en outre un moyen d'atténuation des débris qui comprend au moins deux boîtiers agencés pour délivrer en sortie des faisceaux homocentriques exempts de débris du rayonnement à courte longueur d'onde, en provenance du collecteur optique constitué de préférence de plusieurs miroirs identiques. À l'extérieur de chaque boîtier se trouvent des aimants permanents qui créent un champ magnétique à l'intérieur des boîtiers pour atténuer une fraction chargée de particules de débris et fournir les faisceaux homocentriques exempts de débris de rayonnement de courte longueur d'onde. D'autres techniques d'atténuation de débris sont en outre utilisées. De préférence, le plasma est un plasma produit par laser d'une cible métallique liquide fournie par un ensemble cible rotatif à une zone de focalisation d'un faisceau laser. Le résultat technique de l'invention est la création de sources de rayonnement de courte longueur d'onde exemptes de débris de haute luminosité, de grande puissance, de grand, de préférence plus de 0,25 sr, angle solide de collecte.
