(EN) A substrate processing module (7) comprising: a first tank (34) and a second tank (32) which are arrayed in a first direction and in which a substrate (4) can be positioned; a first conveyance unit (11) that moves the substrate (4) in the first direction; a second conveyance unit (48) that moves the substrate (4) in a second direction that intersects the first direction; and a vertical conveyance unit (13) that is coupled to the first conveyance unit (11) and moves the substrate (4) vertically, wherein a first actuator (12) of the first conveyance unit (11) and a second actuator (41) of the second conveyance unit (48) are respectively positioned in drive spaces (B1, B2) that are separated from a processing space (A) where it is possible to access the first tank (34) and the second tank (32).
(FR) Le module de traitement de substrat (7) de l'invention est équipé : d'un premier réservoir (34) ainsi que d'un second réservoir (32) arrangés dans une première direction et permettant de disposer un substrat (4) ; d'une première partie convoi (11) déplaçant le substrat (4) dans la première direction ; d'une seconde partie convoi (48) déplaçant le substrat (4) dans une seconde direction sécante à la première direction ; d'une partie convoi verticale (13) reliée à la première partie convoi (11), et déplaçant verticalement le substrat (4). Un premier actionneur (12) de la première partie convoi (11) et un second actionneur (41) de la seconde partie convoi (48), sont disposés respectivement dans des espaces d'entraînement (B1, B2) séparés d'un espace de traitement (A) permettant l'accès au premier réservoir (34) et au second réservoir (32).
(JA) 基板処理モジュール（７）は、第１方向に配列され、基板（４）を配置可能な第１槽（３４）および第２槽（３２）と、基板（４）を第１方向に移動させる第１搬送部（１１）と、基板（４）を第１方向に交差する第２方向に移動させる第２搬送部（４８）と、第１搬送部（１１）に連結され、基板（４）を上下動させる上下搬送部（１３）と、を備え、第１搬送部（１１）の第１アクチュエータ（１２）および第２搬送部（４８）の第２アクチュエータ（４１）は、第１槽（３４）と第２槽（３２）にアクセス可能な処理スペース（Ａ）とは隔離された駆動スペース（Ｂ１、Ｂ２）にそれぞれ配置される。
