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1. WO2022009661 - LIQUID TREATMENT DEVICE AND LIQUID TREATMENT METHOD

Publication Number WO/2022/009661
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/JP2021/023521
International Filing Date 22.06.2021
IPC
H01L 21/304 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
04the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer, carrier concentration layer
18the devices having semiconductor bodies comprising elements of group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
30Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20-H01L21/26142
302to change the physical characteristics of their surfaces, or to change their shape, e.g. etching, polishing, cutting
304Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 小佐井 一樹 KOSAI, Kazuki
  • 井上 大誠 INOUE, Taisei
  • ▲高▼松 祐助 TAKAMATSU, Yusuke
  • 大塚 貴久 OTSUKA, Takahisa
  • 天井 勝 AMAI, Masaru
  • 菅野 至 KANNO, Itaru
  • 矢野 洋 YANO, Hiroshi
Agents
  • 特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE
Priority Data
2020-11641906.07.2020JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) LIQUID TREATMENT DEVICE AND LIQUID TREATMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE LIQUIDE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE LIQUIDE
(JA) 液処理装置および液処理方法
Abstract
(EN) A liquid treatment device according to an embodiment comprises a storage tank, a first circulation line, and a second circulation line. The storage tank stores a treatment liquid. The first circulation line causes the treatment liquid sent from the storage tank to pass through a first filter and return to the storage tank. The second circulation line is connected to the first circulation line and causes the treatment liquid to pass through the second filter and return to the storage tank. The second circulation line has a flow path shorter than the first circulation line. The flowrate of the treatment liquid flowing into the second circulation line is less than the flowrate of the treatment liquid flowing into the first circulation line on a further downstream side than a connection portion between the first circulation line and the second circulation line. The filtration amount per unit time in the second filter is smaller than the filtration amount per unit time in the first filter.
(FR) Dispositif de traitement de liquide selon un mode de réalisation, comprenant un réservoir de stockage, une première conduite de circulation et une seconde conduite de circulation. La cuve de stockage stocke un liquide de traitement. La première conduite de circulation amène le liquide de traitement envoyé à partir du réservoir de stockage à traverser un premier filtre et à retourner dans le réservoir de stockage. La seconde conduite de circulation est raccordée à la première conduite de circulation et amène le liquide de traitement à traverser le second filtre et à retourner dans le réservoir de stockage. La seconde conduite de circulation présente un trajet d'écoulement plus court que la première conduite de circulation. Le débit du liquide de traitement s'écoulant dans la seconde conduite de circulation est inférieur au débit du liquide de traitement s'écoulant dans la première conduite de circulation sur un côté aval plus loin qu'une partie de raccordement entre la première conduite de circulation et la seconde conduite de circulation. La quantité de filtration par unité de temps dans le second filtre est inférieure à la quantité de filtration par unité de temps dans le premier filtre.
(JA) 実施形態に係る液処理装置は、貯留タンクと、第1循環ラインと、第2循環ラインとを備える。貯留タンクは、処理液を貯留する。第1循環ラインは、貯留タンクから送られる処理液を、第1フィルタを通過させて貯留タンクに戻す。第2循環ラインは、第1循環ラインに接続され、処理液を、第2フィルタを通過させて貯留タンクに戻す。第2循環ラインは、第1循環ラインよりも流路の長さが短い。第2循環ラインに流入する処理液の流量は、第1循環ラインと第2循環ラインとの接続箇所よりも下流側の第1循環ラインに流入する処理液の流量よりも少ない。第2フィルタにおける単位時間あたりの濾過量は、第1フィルタにおける単位時間あたりの濾過量よりも少ない。
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