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1. WO2022009204 - SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING MEASUREMENTS OF SAMPLE'S PARAMETERS

Publication Number WO/2022/009204
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/IL2021/050831
International Filing Date 06.07.2021
IPC
G06N 20/00 2019.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
NCOMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
20Machine learning
G06N 3/02 2006.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
NCOMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
3Computer systems based on biological models
02using neural network models
G01R 31/26 2020.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
G01R 31/28 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
Applicants
  • NOVA LTD. [IL]/[IL]
Inventors
  • BRINGOLTZ, Barak
  • SHLAGMAN, Ofer
  • YACOBY, Ran
  • TAL, Noam
Agents
  • STADLER, Svetlana
Priority Data
63/048,21406.07.2020US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING MEASUREMENTS OF SAMPLE'S PARAMETERS
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LA COMMANDE DE MESURES DE PARAMÈTRES D'ÉCHANTILLON
Abstract
(EN) A system and method are presented for controlling measurements of various sample's parameters. The system comprises a control unit configured as a computer system comprising data input and output utilities, memory, and a data processor, and being configured to communicate with a measured data provider to receive measured data indicative of measurements on the sample. The data processor is configured to perform model-based processing of the measured data utilizing at least one predetermined model, and determine, for each of one or more measurements of one or more parameters of interest of the sample, an estimated upper bound on an error value for the measurement individually, and generate output data indicative thereof.
(FR) La présente invention concerne un système et un procédé pour la commande de mesures de divers paramètres d'un échantillon. Le système comprend une unité de commande configurée sous la forme d'un système informatique comprenant des utilitaires d'entrée et de sortie de données, de la mémoire et un processeur de données, et étant configuré pour communiquer avec un fournisseur de données mesurées afin de recevoir des données mesurées indiquant des mesures effectuées sur l'échantillon. Le processeur de données est configuré pour effectuer, sur les données mesurées, un traitement basé sur un modèle à l'aide d'au moins un modèle prédéterminé, et déterminer, pour chaque mesure parmi une ou plusieurs mesures d'un ou de plusieurs paramètres d'intérêt de l'échantillon, une borne supérieure estimée d'une valeur d'erreur pour la mesure individuellement, et générer des données de sortie indiquant celle-ci.
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