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1. WO2022009089 - CRYOPUMP

Publication Number WO/2022/009089
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/IB2021/056044
International Filing Date 06.07.2021
IPC
F04B 37/08 2006.1
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
37Pumps specially adapted for elastic fluids and having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/-F04B35/187
06for evacuating by thermal means
08by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Applicants
  • EDWARDS VACUUM LLC [US]/[US]
Inventors
  • SZAREK, Gerald
Priority Data
2010469.108.07.2020GB
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) CRYOPUMP
(FR) CRYOPOMPE
Abstract
(EN) A cryopump with a pump inlet; a two stage refrigerator; a first stage array arranged thermally coupled to a first stage of the two stage refrigerator; and a cryopanel structure coupled to a second stage of the two stage refrigerator. Surfaces of the cryopanel structure have portions that are coated portion with an adsorbent material and other portions that are not coated with the adsorbent material.
(FR) Une cryopompe comprend une entrée de pompe; un réfrigérateur à deux étages ; un premier réseau d'étages agencé thermiquement couplé à un premier étage du réfrigérateur à deux étages ; et une structure de cryopompe couplée à un second étage du réfrigérateur à deux étages. Les surfaces de la structure de cryopompe ont des parties qui sont revêtues d'une partie avec un matériau adsorbant et d'autres parties qui ne sont pas revêtues du matériau adsorbant.
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