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1. WO2022007612 - CRANE MONITORING SYSTEM AND METHOD

Publication Number WO/2022/007612
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2021/100814
International Filing Date 18.06.2021
IPC
H01L 21/67 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
Applicants
  • 长鑫存储技术有限公司 CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. [CN]/[CN]
Inventors
  • 冯伟 FENG, Wei
Agents
  • 广州华进联合专利商标代理有限公司 ADVANCE CHINA IP LAW OFFICE
Priority Data
202010655230.709.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) CRANE MONITORING SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE GRUE
(ZH) 天车监测系统及方法
Abstract
(EN) A crane monitoring system, comprising: a first detection apparatus, which is used for detecting the position of a crane, sending a first detection signal when the crane is located above a wafer box loading platform of a semiconductor device, and sending a second detection signal when the crane leaves from above the wafer box loading platform; a processing apparatus, which is used for generating a start control signal when the first detection signal is received, and generating a stop control signal when the second detection signal is received; and a second detection apparatus, which is used for starting to detect, upon reception of the start control signal, whether there is a foreign object between the crane and the wafer box loading platform, and stopping detection after the reception of the stop control signal.
(FR) L’invention concerne un système de surveillance de grue, comprenant : un premier appareil de détection, lequel sert à détecter la position d’une grue, à envoyer un premier signal de détection lorsque la grue est située au-dessus d’une plateforme de chargement de boîtes de plaquettes d’un dispositif semi-conducteur, et à envoyer un deuxième signal de détection lorsque la grue quitte sa position au-dessus de la plateforme de chargement de boîtes de plaquettes ; un appareil de traitement, lequel sert à générer un signal de commande de démarrage, lorsque le premier signal de détection est reçu, et à générer un signal de commande d’arrêt, lorsque le deuxième signal de détection est reçu ; et un deuxième appareil de détection, lequel sert à commencer à détecter, lors de la réception du signal de commande de démarrage, s’il y a un objet étranger entre la grue et la plateforme de chargement de boîtes de plaquettes, et à arrêter la détection après la réception du signal de commande d’arrêt.
(ZH) 一种天车监测系统,包括:第一检测装置,用于检测天车的位置,在天车位于半导体设备的晶圆盒装载台的上方时,发出第一检测信号,并在天车离开所述晶圆盒装载台的上方时发出第二检测信号;处理装置,用于在接收到第一检测信号时生成启动控制信号,并在接收到第二检测信号时生成停止控制信号;以及第二检测装置,用于在接收到启动控制信号后开始检测天车与晶圆盒装载台之间是否有异物,并在接收到停止控制信号后停止检测。
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