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1. WO2022007539 - MARANGONI DRYING DEVICE WITH ADJUSTABLE SPRAY ANGLE

Publication Number WO/2022/007539
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2021/097223
International Filing Date 31.05.2021
IPC
H01L 21/67 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
F26B 11/18 2006.1
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
26DRYING
BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
11Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive
18on or in moving dishes, trays, pans, or other mainly-open receptacles
F26B 21/00 2006.1
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
26DRYING
BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
21Arrangements for supplying or controlling air or gases for drying solid materials or objects
B08B 3/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
3Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
Applicants
  • 清华大学 TSINGHUA UNIVERSITY [CN]/[CN]
  • 华海清科股份有限公司 HWATSING TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 李长坤 LI, Changkun
  • 赵德文 ZHAO, Dewen
  • 曹自立 CAO, Zili
  • 路新春 LU, Xinchun
Common Representative
  • 华海清科股份有限公司 HWATSING TECHNOLOGY CO., LTD.
Priority Data
202010659942.610.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MARANGONI DRYING DEVICE WITH ADJUSTABLE SPRAY ANGLE
(FR) DISPOSITIF DE SÉCHAGE DE MARANGONI À ANGLE DE PULVÉRISATION RÉGLABLE
(ZH) 喷射角度可调的马兰戈尼干燥装置
Abstract
(EN) A Marangoni drying device with an adjustable spray angle, comprising: a driving mechanism for vertically rotating a wafer, a supply arm for transferring a fluid, and a box, wherein the supply arm can vertically swing and supplies a fluid to the wafer by means of a nozzle assembly arranged at a free end of the supply arm; the nozzle assembly comprises a first nozzle arm and a second nozzle arm which are provided with nozzles; the first nozzle arm and the second nozzle arm extend along the supply arm and are rotatably and fixedly arranged at the free end of the supply arm; the first nozzle arm is located below the second nozzle arm; the first nozzle arm is provided with one nozzle, and the second nozzle arm is provided with two nozzles; and the nozzle of the first nozzle arm is perpendicular to the axis of the first nozzle arm, and the nozzle of the second nozzle arm is obliquely arranged on the second nozzle arm in a back hooking or forward leaning manner.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de séchage de Marangoni à angle de pulvérisation réglable, comprenant : un mécanisme d'entraînement destiné à faire tourner verticalement une plaquette, un bras d'alimentation destiné à transférer un fluide, et un boîtier, le bras d'alimentation pouvant osciller verticalement et fournissant un fluide à la plaquette au moyen d'un ensemble buse agencé au niveau d'une extrémité libre du bras d'alimentation ; l'ensemble buse comprend un premier bras de buse et un deuxième bras de buse qui sont dotés de buses ; le premier bras de buse et le deuxième bras de buse s'étendent le long du bras d'alimentation et sont agencés de manière rotative et fixe au niveau de l'extrémité libre du bras d'alimentation ; le premier bras de buse est situé sous le deuxième bras de buse ; le premier bras de buse est pourvu d'une buse, et le deuxième bras de buse est pourvu de deux buses ; et la buse du premier bras de buse est perpendiculaire à l'axe du premier bras de buse, et la buse du deuxième bras de buse est disposée obliquement sur le deuxième bras de buse de manière à s'accrocher à l'arrière ou s'incliner vers l'avant.
(ZH) 一种喷射角度可调的马兰戈尼干燥装置,包括:用于竖直旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体;所述供给臂可竖直地摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴组件将流体供应至晶圆上;所述喷嘴组件包括具有喷嘴的第一喷嘴臂和第二喷嘴臂,所述第一喷嘴臂和第二喷嘴臂沿所述供给臂延长,可旋转地固定配置于所述供给臂的自由端;所述第一喷嘴臂位于第二喷嘴臂下方,所述第一喷嘴臂具有一个喷嘴并且第二喷嘴臂具有两个喷嘴;并且所述第一喷嘴臂的喷嘴垂直于第一喷嘴臂的轴线,所述第二喷嘴臂的喷嘴回勾或前探倾斜地设置于所述第二喷嘴臂上。
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