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1. WO2022007246 - RESONATOR

Publication Number WO/2022/007246
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/123433
International Filing Date 23.10.2020
IPC
H03H 9/17 2006.1
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
17having a single resonator
CPC
H03H 9/17
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
15Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
17having a single resonator
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 窦韶旭 DOU, Shaoxu
  • 吕丽英 LOO, Li Eng
  • 杨帅 YANG, Shuai
  • 吴一雷 WU, Yilei
  • 韩琦 HAN, Qi
  • 吴珂 WU, Ke
  • 王超 WANG, Chao
Agents
  • 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) SHENZHEN JUNXINCHENG INTELLECTUAL PROPERTY FIRM (GENERAL PARTNERSHIP)
Priority Data
202021358877.510.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR
(ZH) 谐振器
Abstract
(EN) A resonator (100), comprising a substrate (1), a composite film (2), and a longitudinal acoustic wave reflector (3). The composite film (2) comprises, arranged sequentially in a first direction, a first electrode (21), a piezoelectric functional film (22), and a second electrode (23), the first electrode (21) being arranged on the substrate (1) and the longitudinal acoustic wave reflector (3). The piezoelectric functional film (22) comprises a longitudinal piezoelectric film (221) and a longitudinal non-piezoelectric film (222), the longitudinal non-piezoelectric film (222) comprising a main body portion (2221) and an annular protruding ring (2222) extending from the main body portion. The region enclosed by the orthographic projection of the inside face of the protruding ring (2222) in the first direction onto the main body portion (2221) is a resonating region (10), and the region of the resonator (100) located outside the resonating region (10) is a non-resonating region (20). The first electrode (21) and the second electrode (23) both completely cover the resonating region (10), and the portion of the second electrode (23) located in the non-resonating region (20) is arranged on the side of the protruding ring (2222) away from the main body portion (2221). The acoustic impedance of the resonator (100) differs between the resonating region (10) and the non-resonating region (20), and the acoustic impedances of the portions of the first electrode (21), the piezoelectric functional film (22), and the second electrode (23) located in the resonating region (10) are all largely constant.
(FR) La présente invention concerne un résonateur (100), comprenant un substrat (1), un film composite (2), et un réflecteur d'onde acoustique longitudinale (3). Le film composite (2) comprend, agencés séquentiellement dans une première direction, une première électrode (21), un film fonctionnel piézoélectrique (22), et une seconde électrode (23), la première électrode (21) étant disposée sur le substrat (1) et le réflecteur d'onde acoustique longitudinale (3). Le film fonctionnel piézoélectrique (22) comprend un film piézoélectrique longitudinal (221) et un film non piézoélectrique longitudinal (222), le film non piézoélectrique longitudinal (222) comprenant une partie de corps principal (2221) et une bague en saillie annulaire (2222) s'étendant à partir de la partie de corps principal. La région enfermée par la projection orthographique de la face interne de la bague en saillie (2222) dans la première direction sur la partie de corps principal (2221) est une région résonante (10), et la région du résonateur (100) située à l'extérieur de la région résonante (10) est une région non résonante (20). La première électrode (21) et la seconde électrode (23) recouvrent toutes deux complètement la région résonante (10), et la partie de la seconde électrode (23) située dans la région non résonante (20) est disposée sur le côté de la bague en saillie (2222) à l'opposé de la partie de corps principal (2221). L'impédance acoustique du résonateur (100) diffère entre la région résonante (10) et la région non résonante (20), et les impédances acoustiques des parties de la première électrode (21), du film fonctionnel piézoélectrique (22) et de la seconde électrode (23) situés dans la région résonante (10) sont toutes sensiblement constantes.
(ZH) 一种谐振器(100),包括基底(1)、复合膜(2)和纵向声波反射器(3),复合膜(2)包括沿第一方向依次设置的第一电极(21)、压电功能膜(22)和第二电极(23),第一电极(21)设置于基底(1)和纵向声波反射器(3)上;压电功能膜(22)包括纵向压电膜(221)和纵向非压电膜(222),纵向非压电膜(222)包括主体部(2221)和由主体部延伸的呈环状的凸环(2222);凸环(2222)的内侧面沿第一方向向主体部(2221)的正投影所围成的区域为谐振区(10),谐振器(100)位于谐振区(10)外的区域为非谐振区(20);第一电极(21)、第二电极(23)均完全覆盖谐振区(10),且第二电极(23)位于非谐振区(20)的部分设置于凸环(2222)远离主体部(2221)的一侧;谐振器(100)在谐振区(10)内和在非谐振区(20)内的声阻抗相异,且第一电极(21)、压电功能膜(22)和第二电极(23)位于谐振区(10)内的部分的声阻抗均是大致不变的。
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