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1. WO2022007103 - MEMS GYROSCOPE AND ELECTRONIC PRODUCT

Publication Number WO/2022/007103
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/108375
International Filing Date 11.08.2020
IPC
G01C 19/56 2012.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 马昭 MA, Zhao
  • 占瞻 ZHAN, Zhan
  • 杨珊 YANG, Shan
  • 李杨 LI, Yang
  • 谭秋喻 VERONICA, Tan Qiu Yu
  • 洪燕 HONG, Yan
  • 黎家健 LAI, Kah Keen
  • 张睿 ZHANG, Rui
Agents
  • 深圳紫辰知识产权代理有限公司 SHENZHEN ZICHEN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LIMITED
Priority Data
202021346590.009.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MEMS GYROSCOPE AND ELECTRONIC PRODUCT
(FR) GYROSCOPE MEMS ET PRODUIT ÉLECTRONIQUE
(ZH) 一种 MEMS 陀螺仪及电子产品
Abstract
(EN) Provided are an MEMS gyroscope (1) and an electronic product. The MEMS gyroscope (1) comprises a substrate (10), a fixing member (11), an annular member (12) and an electrode assembly (13), wherein the annular member (12) is driven by the electrode assembly (13) to vibrate in a first direction and a second direction, which are perpendicular to each other; and the vibrational displacement of the annular member (12) in a third direction, which forms an included angle of 45 degrees or 135 degrees with the first direction, is detected. The sensitivity of the MEMS gyroscope (1) is improved by utilizing the characteristic of the geometric structure of a ring-shaped gyroscope (1) being highly symmetrical; in addition, the wave-shaped annular member (12) reduces the deformation difficulty and improves the quality factor of the MEMS gyroscope (1). An annular groove (120) can release the annular member (12) having a movable structure, and form a gap between the annular member (12) and the electrode assembly (13), so that a capacitance is formed, thereby improving the sensitivity of the MEMS gyroscope (1); moreover, compared with a hemispherical gyroscope in the prior art, the MEMS gyroscope has a higher space utilization rate, and has a smaller etching depth in an axial direction, such that the process difficulty is reduced.
(FR) La présente invention concerne un gyroscope MEMS (1) et un produit électronique. Le gyroscope MEMS (1) comprend un substrat (10), un élément de fixation (11), un élément annulaire (12) et un ensemble électrode (13), l'élément annulaire (12) est entraîné par l'ensemble électrode (13) à vibrer dans une première direction et une seconde direction, qui sont perpendiculaires l'une à l'autre ; et le déplacement vibratoire de l'élément annulaire (12) dans une troisième direction, qui forme un angle inclus de 45 degrés ou de 135 degrés avec la première direction, est détecté. La sensibilité du gyroscope MEMS (1) est améliorée en utilisant la caractéristique de la structure géométrique d'un gyroscope en forme d'anneau (1) étant hautement symétrique ; en outre, l'élément annulaire en forme d'onde (12) réduit la difficulté de déformation et améliore le facteur de qualité du gyroscope MEMS (1). Une rainure annulaire (120) peut libérer l'élément annulaire (12) ayant une structure mobile, et former un espace entre l'élément annulaire (12) et l'ensemble électrode (13), de telle sorte qu'une capacité est formée, ce qui permet d'améliorer la sensibilité du gyroscope MEMS (1) ; de plus, par rapport à un gyroscope hémisphérique dans l'état de la technique, le gyroscope MEMS présente un taux d'utilisation d'espace plus élevé, et possède une profondeur de gravure plus petite dans une direction axiale, de telle sorte que la difficulté de traitement est réduite.
(ZH) 一种MEMS陀螺仪(1)及电子产品,MEMS陀螺仪(1)包括基底(10)、固定件(11)、环形件(12)及电极组件(13),通过电极组件(13)驱动环形件(12)沿相互垂直的第一方向和第二方向振动,并检测环形件(12)沿与第一方向呈45°或135°夹角的第三方向的振动位移,一方面利用圆环形陀螺仪(1)几何结构高度对称的特征,提高MEMS陀螺仪(1)的灵敏度,另一方面波浪形的环形件(12),降低变形难度,提高MEMS陀螺仪(1)的品质因数,且环形开槽(120)能够释放活动结构环形件(12),并形成环形件(12)与电极组件(13)之间的间隙,从而形成电容,进而提高MEMS陀螺仪(1)的灵敏度,同时,相比于现有技术中的半球形陀螺仪,具有更高的空间利用率,在轴向上具有更小的刻蚀深度,降低了工艺难度。
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