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1. WO2022007092 - MEMS GYROSCOPE AND ELECTRONIC PRODUCT

Publication Number WO/2022/007092
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/107694
International Filing Date 07.08.2020
IPC
G01C 19/56 2012.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 占瞻 ZHAN, Zhan
  • 马昭 MA, Zhao
  • 杨珊 YANG, Shan
  • 李杨 LI, Yang
  • 谭秋喻 VERONICA, Tan Qiu Yu
  • 洪燕 HONG, Yan
  • 黎家健 LAI, Kah Keen
  • 张睿 ZHANG, Rui
Agents
  • 深圳紫辰知识产权代理有限公司 SHENZHEN ZICHEN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY LIMITED
Priority Data
202021346446.709.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MEMS GYROSCOPE AND ELECTRONIC PRODUCT
(FR) GYROSCOPE MEMS ET PRODUIT ÉLECTRONIQUE
(ZH) 一种MEMS陀螺仪及电子产品
Abstract
(EN) A MEMS gyroscope (1) and an electronic product, the MEMS gyroscope (1) comprising a base (10), a first annular piece (11), a second annular piece (12), a connecting assembly (13), a fixing piece (14), second spokes (15), and an electrode assembly (16). The electrode assembly (16) drives the first annular piece (11) and the second annular piece (12) to vibrate along a first direction (X) and a second direction (Y) which are perpendicular to one another, and vibration displacement of the first annular piece (11) and the second annular piece (12) along the direction of a 45 degree angle with respect to the first direction (X) or the direction of a 135 degree angle with respect to the first direction (X) are detected. The feature that the geometric structure of the annular gyroscope (1) is highly symmetrical is used to increase the sensitivity of the gyroscope (1). In addition, the gyroscope (1) has greater rigidity, higher modal frequency, and improved anti-vibration characteristics.
(FR) L'invention concerne un gyroscope MEMS (1) et un produit électronique, le gyroscope MEMS (1) comprenant une base (10), une première pièce annulaire (11), une seconde pièce annulaire (12), un ensemble de liaison (13), une pièce de fixation (14), des seconds rayons (15) et un ensemble électrode (16). L'ensemble électrode (16) entraîne la première pièce annulaire (11) et la seconde pièce annulaire (12) à vibrer le long d'une première direction (X) et d'une seconde direction (Y) qui sont perpendiculaires l'une à l'autre, et le déplacement par vibration de la première pièce annulaire (11) et de la seconde pièce annulaire (12) le long de la direction d'un angle de 45 degrés par rapport à la première direction (X) ou de la direction d'un angle de 135 degrés par rapport à la première direction (X) est détecté. La caractéristique selon laquelle la structure géométrique du gyroscope annulaire (1) est hautement symétrique est utilisée pour augmenter la sensibilité du gyroscope (1). En outre, le gyroscope (1) présente une plus grande rigidité, une fréquence modale plus élevée et des caractéristiques antivibrations améliorées.
(ZH) 一种MEMS陀螺仪(1)及电子产品,该MEMS陀螺仪(1)包括基底(10)、第一环形件(11)、第二环形件(12)、连接组件(13)、固定件(14)、第二辐条(15)及电极组件(16),通过电极组件(16)驱动第一环形件(11)及第二环形件(12)沿相互垂直的第一方向(X)和第二方向(Y)振动,并检测第一环形件(11)及第二环形件(12)沿与第一方向(X)的夹角呈45度方向或与第一方向(X)的夹角呈135度方向的振动位移,利用环形陀螺仪(1)几何结构高度对称的特征,提高陀螺仪(1)的灵敏度,同时具有更大的刚度,更高的模态频率,提高抗振动特性。
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