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1. WO2022007084 - PROCESSING METHOD WITHOUT INTERMEDIATE-FREQUENCY ERROR UNDER MAGNETORHEOLOGICAL POLISHING MAGIC ANGLE-STEP

Publication Number WO/2022/007084
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/107306
International Filing Date 06.08.2020
IPC
B24B 1/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
1Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
CPC
B24B 1/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
1Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
005using a magnetic polishing agent
B24B 51/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
51Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
Applicants
  • 中国科学院上海光学精密机械研究所 SHANGHAI INSTITUTE OF OPTICS AND FINE MECHANICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN]/[CN]
Inventors
  • 魏朝阳 WEI, Chaoyang
  • 万嵩林 WAN, Songlin
  • 邵建达 SHAO, Jianda
  • 顾昊金 GU, Haojin
Agents
  • 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) SHANGHAI HENGHUI INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY
Priority Data
202010645628.207.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) PROCESSING METHOD WITHOUT INTERMEDIATE-FREQUENCY ERROR UNDER MAGNETORHEOLOGICAL POLISHING MAGIC ANGLE-STEP
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT SANS ERREUR DE FRÉQUENCE INTERMÉDIAIRE SOUS PAS-ANGLE MAGIQUE DE POLISSAGE MAGNÉTORHÉOLOGIQUE
(ZH) 磁流变抛光魔法角度-步距下无中频误差的加工方法
Abstract
(EN) A processing method without intermediate-frequency error under a magnetorheological polishing magic angle-step. The method comprises the steps of: firstly, performing measurement to obtain a magnetorheological removal function, and also determining the control precision of a machine tool; performing a two-dimensional Fourier transform on the removal function, performing compensation filtering on a spectrum on the basis of the control precision of the machine tool, and analyzing a corresponding step of the lowest amplitude point of the filtered two-dimensional spectrum in a magic angle direction; planning a grid path at a given step on the basis of adjusting the direction of a processing path or an attitude of a magnetorheological polishing wheel such that the included angle between the polishing wheel and the path is a magic angle; and finally, controlling the processing of the machine tool. By means of the method, no additional cost is needed; only the included angle between a removal function and a path, and a path step need to be changed to optimal values obtained by means of theoretical analysis; and the amplitude of a trajectory-like intermediate-frequency error can theoretically be far lower than that of other processing noises and thus disappear, such that processing without an intermediate frequency can be realized, and a low-frequency and high-frequency error of an element is not affected.
(FR) L'invention concerne un procédé de traitement sans erreur de fréquence intermédiaire sous un pas-angle magique de polissage magnétorhéologique. Le procédé comprend les étapes consistant à : premièrement, réaliser une mesure pour obtenir une fonction de retrait magnétorhéologique, et déterminer également la précision de commande d'une machine-outil ; réaliser une transformée de Fourier bidimensionnelle sur la fonction de retrait, réaliser un filtrage de compensation sur un spectre sur la base de la précision de commande de la machine-outil, et analyser un pas correspondant du point d'amplitude le plus bas du spectre bidimensionnel filtré dans une direction d'angle magique ; planifier un parcours de grille à un pas donné sur la base de l'ajustement de la direction d'un parcours de traitement ou d'une attitude d'une roue de polissage magnétorhéologique de telle sorte que l'angle inclus entre la roue de polissage et le parcours soit un angle magique ; et enfin, commander le traitement de la machine-outil. Grâce au procédé, aucun coût supplémentaire n'est nécessaire ; seul l'angle inclus entre une fonction de retrait et un parcours, et un pas de parcours doivent être modifiés vers des valeurs optimales obtenues grâce à une analyse théorique ; et l'amplitude d'une erreur de fréquence intermédiaire de type trajectoire peut théoriquement être nettement inférieure à celle d'autres bruits de traitement et ainsi disparaître, de telle sorte qu'un traitement sans fréquence intermédiaire puisse être réalisé, et qu'une erreur basse fréquence et haute fréquence d'un élément ne soit pas affectée.
(ZH) 一种磁流变抛光魔法角度-步距下无中频误差的加工方法,步骤为:首先测量得到磁流变去除函数,同时确定机床的控制精度;对去除函数进行二维傅里叶变换,并基于机床控制精度对频谱进行补偿滤波,分析滤波后二维频谱在魔法角度方向下的幅值最低点的对应步距;通过调整加工路径的方向或磁流变抛光轮的姿态使得抛光轮与路径的夹角呈魔法角度的基础下,规划给定步距下的栅格路径;最终控制机床加工。该方法不需要任何附加成本,仅需改变去除函数与路径之间的夹角和路径步距至理论分析得到的最优值,轨迹状中频误差幅值理论上即可远远低于其他加工噪声而消失,能实现无中频加工,且对元件低频、高频误差无任何影响。
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