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1. WO2022007054 - MEMS LOUDSPEAKER

Publication Number WO/2022/007054
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/105427
International Filing Date 29.07.2020
IPC
H04R 9/06 2006.1
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
9Transducers of moving-coil, moving-strip, or moving-wire type
06Loudspeakers
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 但强 DAN, Qiang
  • 程诗阳 CHENG, Shiyang
  • 朱国 ZHU, Guo
  • 李杨 LI, Yang
Agents
  • 深圳中细软知识产权代理有限公司 SHENZHEN CIPRUN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.
Priority Data
202010665048.X10.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MEMS LOUDSPEAKER
(FR) HAUT-PARLEUR MEMS
(ZH) MEMS 扬声器
Abstract
(EN) The present invention provides an MEMS loudspeaker, comprising a base, a diaphragm located above the base, and a driving electrode portion provided between the base and the diaphragm; a driving electrode for driving the diaphragm to vibrate in an up-down direction is formed on the driving electrode portion, and the driving electrode portion comprises at least three conductive layers and two insulation layers. By providing the driving electrode portion having a multilayer structure, a non-contact driving diaphragm is achieved. Compared with a traditional contact-type driving diaphragm, in the present invention, the stiffness of the diaphragm and the magnitude of an electrostatic driving force can be independently adjusted so as to ensure that the MEMS loudspeaker meets a set sound pressure requirement. Moreover, the present invention can reduce harmonic distortion by means of a differentially excited electrode.
(FR) La présente invention concerne un haut-parleur MEMS, comprenant une base, une membrane située au-dessus de la base, et une partie d'électrode d'excitation disposée entre la base et la membrane ; une électrode d'excitation pour mettre en vibration la membrane dans une direction direction haut-bas est formée sur la partie d'électrode d'excitation, et la partie d'électrode d'excitation comprend au moins trois couches conductrices et deux couches d'isolation. En fournissant la partie d'électrode d'excitation présentant une structure multicouche, une membrane d'excitation sans contact est obtenue. Par comparaison avec une membrane d'excitation de type à contact classique, dans la présente invention, la rigidité de la membrane et l'amplitude d'une force d'entraînement électrostatique peuvent être réglées indépendamment de façon à garantir que le haut-parleur MEMS répond à une exigence de pression sonore définie. De plus, la présente invention peut réduire une distorsion harmonique au moyen d'une électrode à excitation différentielle.
(ZH) 本发明提供了MEMS扬声器,包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部,所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极,所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层。通过设置多层结构的驱动电极部,实现非接触式的驱动振膜,相较于传统的接触式驱动振膜,本发明能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小,保障MEMS扬声器达到设定的声压要求,且相较于传统的接触式驱动振膜,本发明能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小,保障MEMS扬声器达到设定的声压要求;另外,本发明能通过差分激励的电极减小谐波失真。
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