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1. WO2022007010 - DIAPHRAGM FOR MEMS MICROPHONE, AND MEMS MICROPHONE

Publication Number WO/2022/007010
Publication Date 13.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/104034
International Filing Date 24.07.2020
IPC
H04R 19/04 2006.1
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
19Electrostatic transducers
04Microphones
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 赵转转 ZHAO, Zhuanzhuan
  • 但强 DAN, Qiang
  • 王凯杰 WANG, Kaijie
  • 李杨 LI, Yang
Agents
  • 深圳国新南方知识产权代理有限公司 SHENZHEN CHINA INNOVATION SOUTH INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.
Priority Data
202021308185.X06.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DIAPHRAGM FOR MEMS MICROPHONE, AND MEMS MICROPHONE
(FR) MEMBRANE POUR MICROPHONE MEMS, ET MICROPHONE MEMS
(ZH) 用于 MEMS 麦克风的振膜及 MEMS 麦克风
Abstract
(EN) The present application provides a diaphragm for an MEMS microphone. Said diaphragm comprises a square main body portion and first anchor portions extending outward from the four corners of the main body portion. Each first anchor portion comprises a connection portion extending outward from the main body portion and a support portion extending outward from the connection portion. The main body portion extends outward to form an outer film, and the connections between the outer film and the connection portions form rounded corners. In the present application, rounded corners are provided at the connections between the main body portion of the diaphragm and the first anchor portions so as to increase the area of the diaphragm, thereby achieving the goal of enhancing the sensitivity of the MEMS microphone.
(FR) La présente invention concerne une membrane pour un microphone MEMS. Ladite membrane comprend une partie de corps principal carrée et des premières parties d'ancrage s'étendant vers l'extérieur depuis les quatre coins de la partie de corps principal. Chaque première partie d'ancrage comprend une partie de connexion s'étendant vers l'extérieur depuis la partie de corps principal et une partie de support s'étendant vers l'extérieur depuis la partie de connexion. La partie du corps principal s'étend vers l'extérieur pour former un film extérieur, et les connexions entre le film extérieur et les parties de connexion forment des coins arrondis. Dans la présente invention, des coins arrondis sont prévus au niveau des connexions entre la partie du corps principal de la membrane et les premières parties d'ancrage, de manière à augmenter la surface de la membrane, ce qui permet d'atteindre l'objectif d'amélioration de la sensibilité du microphone MEMS.
(ZH) 本申请提供一种用于MEMS麦克风的振膜,所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部,所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部,所述主体部向外延伸形成外膜,所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。本申请主要通过在振膜的主体部与第一锚定部的连接处设置圆角,以增大振膜的面积,从而达到增大MEMS麦克风灵敏度的目的。
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