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1. WO2022005940 - ROBOT VACUUM CONTROL AND MONITORING SYSTEM

Publication Number WO/2022/005940
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/US2021/039322
International Filing Date 28.06.2021
IPC
G06F 19/00 2018.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
19Digital computing or data processing equipment or methods, specially adapted for specific applications
Applicants
  • WAFERPATH, INC. [US]/[US]
Inventors
  • PAVLIK, Frantisek
  • MCCARTNEY, James. Thomas, III
Agents
  • LANG, Allen R.
  • SCHEER, Bradley W., Reg. No. 47,059
  • BIANCHI, Timothy E., Reg. No. 39,610
  • ARORA, Suneel, Reg. No. 42,267
  • BEEKMAN, Marvin L., Reg. No. 38,377
  • BLACK, David W., Reg. No. 42,331
  • PERDOK, Monique M., Reg. No. 42,989
Priority Data
16/916,60230.06.2020US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) ROBOT VACUUM CONTROL AND MONITORING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE SURVEILLANCE ET DE COMMANDE DE VIDE D'UN ROBOT
Abstract
(EN) A method of operating a robot including a vacuum port for engaging an item, e.g. a wafer, is disclosed. The method includes operating, by a computer system, the robot in a first state, detecting using a vacuum sensor, a transition of a vacuum parameter from a first vacuum parameter zone to a second parameter zone in a plurality of vacuum parameter zones. Based on detecting the transition of the vacuum parameter from the first vacuum parameter zone to the second vacuum parameter zone, the operating state of the robot is altered from the first state to a second state. Also disclosed is an item transfer robot as part of an item transfer system.
(FR) L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un robot comprenant un orifice à vide destiné à venir en prise avec un article, par exemple, une plaquette. Le procédé consiste à activer le robot, par un système informatique, dans un premier état, détecter à l'aide d'un capteur de vide, une transition d'un paramètre de vide d'une première zone de paramètre de vide à une seconde zone de paramètre dans une pluralité de zones de paramètre de vide. Sur la base de la détection de la transition du paramètre de vide de la première zone de paramètre de vide à la seconde zone de paramètre de vide, l'état de fonctionnement du robot est modifié du premier état à un second état. L'invention concerne également un robot de transfert d'articles faisant partie intégrante d'un système de transfert d'articles.
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