(EN) A method of performing a fluoroconversion process to apply a coating to surfaces of a component of a substrate processing system includes arranging the component within a processing chamber, setting at least one process parameter of the processing chamber, selecting a fluorine-containing gas to react with a base material of the component on surfaces of the component, and flowing the fluorine-containing gas into the processing chamber for a first period. The fluorine-containing gas reacts with the base material on the surfaces of the component to form the coating on the surfaces and the coating is comprised of the base material of the component and fluorine.
(FR) L'invention concerne une méthode de réalisation d'un procédé de fluoroconversion pour appliquer un revêtement sur des surfaces d'un élément d'un système de traitement de substrat, consistant à agencer l'élément à l'intérieur d'une chambre de traitement, à régler au moins un paramètre de procédé de la chambre de traitement, à choisir un gaz contenant du fluor pour une réaction avec un matériau de base de l'élément sur des surfaces de l'élément et à faire s'écouler le gaz contenant du fluor dans la chambre de traitement pendant une première période. Le gaz contenant du fluor réagit avec le matériau de base sur les surfaces de l'élément pour former le revêtement sur les surfaces et le revêtement est constitué du matériau de base de l'élément et du fluor.