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1. WO2022004419 - INFORMATION PROCESSING METHOD AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS

Publication Number WO/2022/004419
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/JP2021/023137
International Filing Date 18.06.2021
IPC
H01L 21/02 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Applicants
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
Inventors
  • 米道 仁史 YONEMICHI, Hitoshi
Agents
  • 特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE
Priority Data
2020-11457902.07.2020JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) INFORMATION PROCESSING METHOD AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D’INFORMATIONS ET APPAREIL DE TRAITEMENT D’INFORMATIONS
(JA) 情報処理方法および情報処理装置
Abstract
(EN) This information processing method acquires a group of time-series data measured during cycle processing with respect to a substrate. The information processing method calculates a statistical value of each cycle of the cycle processing for each time-series data item included in the acquired group of time-series data. The information processing method generates statistical data based on the calculated statistical value. The information processing method divides the generated statistical data or the time-series data into predetermined intervals. The information processing method, on the basis of the divided statistical data or time-series data, calculates a representative value for each interval.
(FR) Procédé de traitement d'informations acquérant un groupe de données chronologiques mesurées pendant un traitement par cycle par rapport à un substrat. Le procédé de traitement d'informations calcule une valeur statistique de chaque cycle du traitement par cycle pour chaque élément de données chronologiques compris dans le groupe de données chronologiques acquis. Le procédé de traitement d'informations génère des données statistiques sur la base de la valeur statistique calculée. Le procédé de traitement d'informations divise les données statistiques générées ou les données chronologiques en intervalles prédéfinis. Le procédé de traitement d'informations, sur la base des données statistiques ou des données chronologiques divisées, calcule une valeur représentative pour chaque intervalle.
(JA) 情報処理方法は、基板に対するサイクル処理中に測定された時系列データ群を取得する。情報処理方法は、取得した時系列データ群に含まれる時系列データごとに、サイクル処理の各サイクルの統計値を算出する。情報処理方法は、算出した統計値に基づく統計データを生成する。情報処理方法は、生成した統計データまたは時系列データを所定の区間に分割する。情報処理方法は、分割した統計データまたは時系列データに基づいて、区間ごとに代表値を算出する。
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