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1. WO2022004373 - FLOW RATE SENSOR ELEMENT

Publication Number WO/2022/004373
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/JP2021/022792
International Filing Date 16.06.2021
IPC
G01P 5/12 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION OR SHOCK; INDICATING PRESENCE OR ABSENCE OF MOVEMENT;  INDICATING DIRECTION OF MOVEMENT 
5Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
10by measuring thermal variables
12using variation of resistance of a heated conductor
Applicants
  • KOA株式会社 KOA CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 下平 正浩 SHIMODAIRA, Masahiro
  • 三浦 克哉 MIURA, Katsuya
Agents
  • 青木 宏義 AOKI, Hiroyoshi
  • 天田 昌行 AMADA, Masayuki
  • 三輪 正義 MIWA, Masayoshi
Priority Data
2020-11391001.07.2020JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) FLOW RATE SENSOR ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT CAPTEUR DE DÉBIT
(JA) 流量センサ素子
Abstract
(EN) The purpose of the present invention is to provide a flow rate sensor element that has excellent omnidirectional sensor sensitivity. A flow rate sensor element (1) of the present invention is characterized by being equipped with a spherical substrate (2), and a temperature-sensitive film pattern (3) which has been formed on the entire surface of the substrate and has an electrical resistance value that changes as the temperature changes. In the present invention, the temperature-sensitive film pattern is preferably formed by trimming a temperature-sensitive film that has been formed on the surface of the substrate. In this flow rate sensor element, the temperature-sensitive film pattern can be arranged over the entire surface of the spherical substrate, thus making it possible to obtain a constant sensor sensitivity irrespective of the fluid direction and to improve the flow rate detection accuracy.
(FR) La présente invention concerne la fourniture d’un élément capteur de débit présentant une excellente sensibilité omnidirectionnelle. Un élément capteur de débit (1) de la présente invention est caractérisé en ce qu'il est équipé d'un substrat sphérique (2), et un motif de film sensible à la température (3) qui a été formé sur la totalité de la surface du substrat et possède une valeur de résistance électrique qui change en fonction des changements de température. Dans la présente invention, le motif de film thermosensible est de préférence formé par rognage d'un film thermosensible qui a été formé sur la surface du substrat. Dans cet élément capteur de débit, le motif de film thermosensible peut être disposé sur toute la surface du substrat sphérique, ce qui permet d'obtenir une sensibilité de capteur constante indépendamment de la direction du fluide et d'améliorer la précision de détection de débit.
(JA) 無指向性のセンサ感度に優れた流量センサ素子を提供することを目的とする。本発明における流量センサ素子(1)は、球状の基体(2)と、前記基体の表面全体に形成された、温度変化により電気抵抗値が変化する感温膜パターン(3)と、を具備することを特徴とする。本発明では、前記感温膜パターンは、前記基体の表面に形成された感温膜がトリミングされて形成されていることが好ましい。本発明の流量センサ素子においては、球状の基体の表面全体にわたって、感温膜パターンを配置でき、これにより、流体方向にかかわらず一定のセンサ感度を得ることができ、流量の検出精度を向上させることが可能である。
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