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1. WO2022004021 - THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD EQUIPPED WITH SAME

Publication Number WO/2022/004021
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/JP2020/048397
International Filing Date 24.12.2020
IPC
H01G 4/33 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
33Thin- or thick-film capacitors
H01G 9/048 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
004Details
04Electrodes
048characterised by their structure
H01G 9/052 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
004Details
04Electrodes
048characterised by their structure
052Sintered electrodes
CPC
H01G 4/33
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
33Thin- or thick-film capacitors
H01G 9/048
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
004Details
04Electrodes ; or formation of dielectric layers thereon
048characterised by their structure
H01G 9/052
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
004Details
04Electrodes ; or formation of dielectric layers thereon
048characterised by their structure
052Sintered electrodes
H01G 9/055
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
004Details
04Electrodes ; or formation of dielectric layers thereon
048characterised by their structure
055Etched foil electrodes
Applicants
  • TDK株式会社 TDK CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 石井 大基 ISHII Daiki
  • 矢野 義彦 YANO Yoshihiko
  • 山下 ゆき YAMASHITA Yuki
  • 吉田 健一 YOSHIDA Kenichi
  • 高橋 哲弘 TAKAHASHI Tetsuhiro
Agents
  • 鷲頭 光宏 WASHIZU Mitsuhiro
  • 緒方 和文 OGATA Kazufumi
Priority Data
63/045,57929.06.2020US
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) THIN FILM CAPACITOR AND ELECTRONIC CIRCUIT BOARD EQUIPPED WITH SAME
(FR) CONDENSATEUR À COUCHE MINCE ET CARTE DE CIRCUITS ÉLECTRONIQUES LE COMPRENANT
(JA) 薄膜キャパシタ及びこれを備える電子回路基板
Abstract
(EN) [Problem] To provide a highly flexible thin film capacitor. [Solution] A thin film capacitor 1 comprises: a metal foil 10 that has a roughened top surface 11; a dielectric film D that covers the top surface 11 of the metal foil 10 and has an opening for partially exposing the metal foil 10; a first electrode layer that is in contact with the metal foil 10 via the opening; and a second electrode layer that is in contact with the dielectric film D without being in contact with the metal foil 10. The particle sizes of the crystals in the center portion, which has not been roughened, of the metal foil 10 are less than 15 μm in the planar direction and less than 5 μm in the thickness direction. As a result, the flexibility of the metal foil is enhanced, which not only reduces short circuit faults after embedding the foil in a multilayer substrate but also increases positioning precision.
(FR) La présente invention a pour but de fournir un condensateur à couche mince hautement flexible. La solution selon l'invention porte sur un condensateur à couche mince 1 comprenant : une feuille métallique 10 qui présente une surface supérieure rugueuse 11 ; une couche diélectrique D qui recouvre la surface supérieure 11 de la feuille métallique 10 et comprend une ouverture pour exposer partiellement la feuille métallique 10 ; une première couche d'électrode qui est en contact avec la feuille métallique 10 par le biais de l'ouverture ; et une seconde couche d'électrode qui est en contact avec la couche diélectrique D sans être en contact avec la feuille métallique 10. Les tailles de particules des cristaux dans la partie centrale, qui n'a pas été rendue rugueuse, de la feuille métallique 10 sont inférieures à 15 µm dans la direction plane et inférieures à 5 µm dans le sens de l'épaisseur. Par conséquent, la flexibilité de la feuille métallique est améliorée, ce qui permet non seulement de réduire les courts-circuits après incorporation de la feuille dans un substrat à couches multiples, mais également d'accroître la précision de positionnement.
(JA) 【課題】フレキシブル性の高い薄膜キャパシタを提供する。 【解決手段】薄膜キャパシタ1は、上面11が粗面化された金属箔10と、金属箔10の上面11を覆い、部分的に金属箔10を露出させる開口部を有する誘電体膜Dと、開口部を介して金属箔10と接する第1の電極層と、金属箔10と接することなく誘電体膜Dと接する第2の電極層とを備える。金属箔10の粗面化されていない中心部分の結晶の粒径は、平面方向において15μm未満、厚み方向において5μm未満である。これにより、金属箔のフレキシブル性が向上し、多層基板に内蔵した後のショート不良が低減されるだけでなく、位置精度が高められる。
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