(EN) [Problem] To provide a highly flexible thin film capacitor. [Solution] A thin film capacitor 1 comprises: a metal foil 10 that has a roughened top surface 11; a dielectric film D that covers the top surface 11 of the metal foil 10 and has an opening for partially exposing the metal foil 10; a first electrode layer that is in contact with the metal foil 10 via the opening; and a second electrode layer that is in contact with the dielectric film D without being in contact with the metal foil 10. The particle sizes of the crystals in the center portion, which has not been roughened, of the metal foil 10 are less than 15 μm in the planar direction and less than 5 μm in the thickness direction. As a result, the flexibility of the metal foil is enhanced, which not only reduces short circuit faults after embedding the foil in a multilayer substrate but also increases positioning precision.
(FR) La présente invention a pour but de fournir un condensateur à couche mince hautement flexible. La solution selon l'invention porte sur un condensateur à couche mince 1 comprenant : une feuille métallique 10 qui présente une surface supérieure rugueuse 11 ; une couche diélectrique D qui recouvre la surface supérieure 11 de la feuille métallique 10 et comprend une ouverture pour exposer partiellement la feuille métallique 10 ; une première couche d'électrode qui est en contact avec la feuille métallique 10 par le biais de l'ouverture ; et une seconde couche d'électrode qui est en contact avec la couche diélectrique D sans être en contact avec la feuille métallique 10. Les tailles de particules des cristaux dans la partie centrale, qui n'a pas été rendue rugueuse, de la feuille métallique 10 sont inférieures à 15 µm dans la direction plane et inférieures à 5 µm dans le sens de l'épaisseur. Par conséquent, la flexibilité de la feuille métallique est améliorée, ce qui permet non seulement de réduire les courts-circuits après incorporation de la feuille dans un substrat à couches multiples, mais également d'accroître la précision de positionnement.
(JA) 【課題】フレキシブル性の高い薄膜キャパシタを提供する。 【解決手段】薄膜キャパシタ１は、上面１１が粗面化された金属箔１０と、金属箔１０の上面１１を覆い、部分的に金属箔１０を露出させる開口部を有する誘電体膜Ｄと、開口部を介して金属箔１０と接する第１の電極層と、金属箔１０と接することなく誘電体膜Ｄと接する第２の電極層とを備える。金属箔１０の粗面化されていない中心部分の結晶の粒径は、平面方向において１５μｍ未満、厚み方向において５μｍ未満である。これにより、金属箔のフレキシブル性が向上し、多層基板に内蔵した後のショート不良が低減されるだけでなく、位置精度が高められる。
