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1. WO2022004005 - MEASUREMENT SYSTEM AND MEASUREMENT METHOD

Publication Number WO/2022/004005
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/JP2020/047558
International Filing Date 18.12.2020
IPC
G01B 11/14 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
14for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
CPC
G01B 11/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
14for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Applicants
  • 日本電産株式会社 NIDEC CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 鈴木 智彦 SUZUKI, Tomohiko
  • 牧野 修之 MAKINO, Shuji
  • 橘▲高▼ 昂志 KITTAKA, Takashi
Priority Data
2020-11334730.06.2020JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) MEASUREMENT SYSTEM AND MEASUREMENT METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE MESURE
(JA) 測定システム、及び測定方法
Abstract
(EN) A measurement system 100 is for measuring an interval between detection positions P of a plurality of sensors 9 that detect a change in the state of an object to be inspected. The plurality of sensors 9 include a first sensor 9a and a second sensor 9b. The measurement system 100 is provided with: a state changing unit 2; and a movement unit 3. The state changing unit 2 includes a first state changing part 21 and a second state changing part 22 disposed apart from each other by a first interval in a first direction. A change in the state of the state changing unit 2 is detected by the sensors 9. The movement unit 3 moves the state changing unit 2 and the sensors 9 relatively to each other.
(FR) L'invention concerne un système de mesure 100 destiné à mesurer un intervalle entre les positions de détection P d'une pluralité de capteurs 9 qui détectent un changement d'état d'un objet à inspecter. La pluralité de capteurs 9 comprend un premier capteur 9a et un second capteur 9b. Le système de mesure 100 est doté d'une unité de changement d'état 2 et d'une unité de mouvement 3. L'unité de changement d'état 2 comprend une première partie de changement d'état 21 et une seconde partie de changement d'état 22 disposées à distance l'une de l'autre par un premier intervalle dans une première direction. Un changement d'état de l'unité de changement d'état 2 est détecté par les capteurs 9. L'unité de mouvement 3 déplace l'unité de changement d'état 2 et les capteurs 9 l'un par rapport à l'autre.
(JA) 測定システム100は、検査対象の状態の変化を検出する複数のセンサ9のそれぞれの検出位置Pの間隔を測定するためのシステムである。複数のセンサ9は、第1センサ9a及び第2センサ9bを含む。測定システム100は、状態変化部2と、移動部3とを備える。状態変化部2は、第1方向に第1間隔をあけて配置される第1状態変化部21と第2状態変化部22とを含む。状態変化部2は、複数のセンサ9によって状態の変化が検出される。移動部3は、状態変化部2と複数のセンサ9とを相対的に移動させる。
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