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1. WO2022003770 - ELECTRON SOURCE, ELECTRON GUN, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Publication Number WO/2022/003770
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/JP2020/025496
International Filing Date 29.06.2020
IPC
H01J 37/063 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
063Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
Applicants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventors
  • 糟谷 圭吾 KASUYA Keigo
  • 石川 修平 ISHIKAWA Shuhei
  • 谷本 憲史 TANIMOTO Kenji
  • 土肥 隆 DOI Takashi
  • 松永 宗一郎 MATSUNAGA Soichiro
  • 森田 裕 MORITA Hiroshi
  • 米須 大吾 KOMESU Daigo
  • 宮田 健治 MIYATA Kenji
Agents
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Priority Data
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) ELECTRON SOURCE, ELECTRON GUN, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) SOURCE D'ÉLECTRONS, CANON À ÉLECTRONS ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 電子源、電子銃、及び荷電粒子線装置
Abstract
(EN) This electron source is provided with a suppressor electrode that has an opening at one end in a direction along a central axis, and an electron emitter having a distal end that protrudes out from the opening, wherein the electron source is structured so that the suppressor electrode is further provided, at a location more circumferentially outward than the opening, with a retracted part that has been retracted to a location further away from the distal end of the electron emitter than the opening in the direction along the central axis, and at least a portion of the retracted part is arranged within a diameter of 2810 μm from the center of the opening. The foregoing configuration achieves an electron source, an electron gun, and a charged particle beam device such as an electron microscope using same, with a reduced difference in device performance caused by axis misalignment between the electron emitter and the suppressor electrode.
(FR) Cette source d'électrons est pourvue d'une électrode de suppression qui a une ouverture à une extrémité dans une direction le long d'un axe central, et un émetteur d'électrons ayant une extrémité distale qui fait saillie hors de l'ouverture, la source d'électrons étant structurée de telle sorte que l'électrode de suppression est en outre pourvue, à un emplacement de manière plus circonférentielle vers l'extérieur que l'ouverture, d'une partie rétractée qui a été rétractée vers un emplacement plus éloigné de l'extrémité distale de l'émetteur d'électrons que l'ouverture dans la direction le long de l'axe central, et au moins une partie de la partie rétractée est disposée à l'intérieur d'un diamètre de 2810 µm à partir du centre de l'ouverture. La configuration susmentionnée permet d'obtenir une source d'électrons, un canon à électrons et un dispositif à faisceau de particules chargées tel qu'un microscope électronique les utilisant, avec une différence réduite de la performance du dispositif provoquée par un désalignement d'axe entre l'émetteur d'électrons et l'électrode de suppression.
(JA) 中心軸に沿った方向における一方の端部に開口部を持つサプレッサ電極と、開口部から先端が突き出した電子放出材を備える電子源において、サプレッサ電極は、開口部よりも外周方向の位置に、中心軸に沿った方向において開口部よりも電子放出材の先端から遠ざかる位置に後退した後退部をさらに備え、後退部の少なくとも一部は開口部の中心から直径2810μm以内に配置される等の構造を備える。これにより、電子放出材とサプレッサ電極の軸ずれによる装置性能の機差を低減した電子源、電子銃、及びそれを用いた電子顕微鏡等の荷電粒子線装置が実現する。
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