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1. WO2022003678 - WORK FUNCTION MEASUREMENTS FOR SURFACE ANALYSIS

Publication Number WO/2022/003678
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/IL2021/050791
International Filing Date 28.06.2021
IPC
G01N 27/60 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
60by investigating electrostatic variables
CPC
G01N 23/2251
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
225using electron or ion
2251using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
Applicants
  • COZAI LTD [IL]/[IL]
Inventors
  • COHEN, Hagai
Agents
  • STADLER, Svetlana
Priority Data
27569328.06.2020IL
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) WORK FUNCTION MEASUREMENTS FOR SURFACE ANALYSIS
(FR) MESURES DE FONCTIONS DE TRAVAIL POUR L’ANALYSE DE SURFACE
Abstract
(EN) A measurement system includes: an excitation system; a detector; and a control unit. The excitation system includes excitation sources generating excitations of different types comprising: a high energy electromagnetic radiation source; at least one electric power supply providing a bias voltage to a sample; and at least one electron beam source generating relatively low energy e-radiation in the form of an electron beam. The excitation system includes first and second sequentially performed measurement modes, for respectively, exciting the sample by the high energy radiation to induce a first-mode secondary electron emission spectral response, and supplying initial bias voltage to the sample and exciting the sample with the e -radiation followed by a gradual variation of the bias voltage from said initial bias voltage to induce a second-mode electric current variations in the sample. The detector detects said first-mode secondary electron emission spectral response and generates first-mode measured data, and monitors the electric current through the sample and generates second-mode measured data indicative of sample current readout.
(FR) Un système de mesure comprend : un système d’excitation ; un détecteur ; et une unité de commande. Le système d’excitation contient des sources d’excitation générant des excitations de différents types, comprenant : une source de rayonnement électromagnétique à haute énergie ; au moins une alimentation électrique fournissant une tension de polarisation à un échantillon ; et au moins une source de faisceau d’électrons générant un rayonnement électronique à énergie relativement faible sous la forme d’un faisceau d’électrons. Le système d’excitation comprend des premier et deuxième modes de mesure mis en œuvre de manière séquentielle pour, respectivement, exciter l’échantillon par le rayonnement à haute énergie pour induire une réponse spectrale d’émission d’électrons secondaire de premier mode, et fournir une tension de polarisation initiale à l’échantillon et exciter l’échantillon avec le rayonnement électronique, suivi d’une variation progressive de la tension de polarisation à partir de ladite tension de polarisation initiale pour induire des variations de courant électrique de deuxième mode dans l’échantillon. Le détecteur détecte ladite réponse spectrale d’émission d’électrons secondaire de premier mode et génère des données mesurées de premier mode, surveille le courant électrique traversant l’échantillon et génère des données mesurées de deuxième mode indiquant une valeur de courant d’échantillon.
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