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1. WO2022002662 - APPARATUS FOR AND METHOD OF ACCELERATING DROPLETS IN A DROPLET GENERATOR FOR AN EUV SOURCE

Publication Number WO/2022/002662
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/EP2021/066798
International Filing Date 21.06.2021
IPC
H05G 2/00 2006.1
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
Applicants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventors
  • ERSHOV, Alexander, Igorevich
  • RAJYAGURU, Chirag
  • TREES, Dietmar, Uwe, Herbert
  • LUKENS, Joshua, Mark
  • DRIESSEN, Theodorus, Wilhelmus
  • RAFAC, Robert, Jay
  • VASCHENKO, Georgiy, Olegovich
Agents
  • ASML NETHERLANDS B.V.
Priority Data
63/045,35429.06.2020US
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) APPARATUS FOR AND METHOD OF ACCELERATING DROPLETS IN A DROPLET GENERATOR FOR AN EUV SOURCE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'ACCÉLÉRATION DE GOUTTELETTES DANS UN GÉNÉRATEUR DE GOUTTELETTES POUR UNE SOURCE DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME (EUV)
Abstract
(EN) Apparatus for and method of accelerating droplets used to generate EUV radiation that comprise an arrangement producing a laser beam directed to an irradiation region and a droplet source. The droplet source includes a fluid exiting a nozzle in a stream that breaks up into droplets that then undergo coalescence. The droplets are then subjected to a stream of gas that entrains and accelerates the droplets.
(FR) L'invention concerne un appareil et un procédé d'accélération de gouttelettes servant à générer un rayonnement ultraviolet extrême (EUV) qui comprennent un agencement produisant un faisceau laser dirigé vers une région de rayonnement et une source de gouttelettes. La source de gouttelettes comprend un fluide sortant d'une buse dans un courant qui se rompt en gouttelettes qui subissent ensuite une coalescence. Les gouttelettes sont ensuite soumises à un flux de gaz qui entraîne et accélère les gouttelettes.
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