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1. WO2022002558 - METHOD FOR ASCERTAINING AN IMAGE OF AN OBJECT

Publication Number WO/2022/002558
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/EP2021/065644
International Filing Date 10.06.2021
IPC
G03F 1/84 2012.1
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
1Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g. masks, photo-masks or reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
68Preparation processes not covered by groups G03F1/20-G03F1/5096
82Auxiliary processes, e.g. cleaning
84Inspecting
G02B 27/09 2006.1
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/-G02B26/119
09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectioned area, not otherwise provided for
G06T 7/00 2017.1
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
CPC
G02B 26/10
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
G02B 27/0988
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
0938Using specific optical elements
0988Diaphragms, spatial filters, masks for removing or filtering a part of the beam
G03F 1/84
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
1Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
82Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
84Inspecting
Applicants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • HUSEMANN, Christoph
  • SEIDEL, Dirk
  • MOUT, Marco
Agents
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB
Priority Data
10 2020 208 045.329.06.2020DE
Publication Language English (en)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD FOR ASCERTAINING AN IMAGE OF AN OBJECT
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UNE IMAGE D'UN OBJET
Abstract
(EN) To ascertain an image of an object (5) which emerges when the object (5) is illuminated with illumination light (1) from a partly coherent light source (17) with a target illumination setting having an illumination-side numerical aperture NA_illu and an imaging-side numerical aperture NA_detection, the following procedure is performed: initially, a section (3) of the object (5) is illuminated with illumination light (1) from a coherent measurement light source with an illumination setting having an illumination-side numerical aperture NA_i, which is at least as large as NA_detection. Then, a diffraction image of the illuminated section (3) is recorded. This is implemented by way of a spatially resolved detection in a far field detection plane (8a) of a diffraction intensity of illumination light (16) diffracted by the illuminated section (3) with a recording-side numerical aperture NA by way of a plurality of sensor pixels, This recording-side aperture must be greater than or equal to the maximum of NA_illu and NA_detection. From the recorded diffraction image data, the image of the section (3) of the object (5) for the target illumination setting is then ascertained from the recorded diffraction image data. An apparatus for carrying out the method comprises a measurement light source for providing the illumination light (1) and a spatially resolving detector (8), arranged in the detection plane (8a), for recording the diffraction image. This yields a method and an apparatus by means of which a flexible image ascertainment of sections of the object is facilitated, in particular for different target illumination settings.
(FR) Pour déterminer une image d'un objet (5) qui apparaît lorsque l'objet (5) est éclairé par une lumière d'éclairage (1) provenant d'une source de lumière partiellement cohérente (17) avec un réglage d'éclairage cible ayant une ouverture numérique côté éclairage NA_illu et une ouverture numérique côté imagerie NA_détection, la procédure suivante est effectuée : d'abord, une section (3) de l'objet (5) est éclairée par une lumière d'éclairage (1) provenant d'une source de lumière de mesure cohérente avec un réglage d'éclairage ayant une ouverture numérique côté éclairage NA_i qui est au moins aussi grande que NA_détection. Une image de diffraction de la section éclairée (3) est ensuite enregistrée. Ceci est mis en œuvre au moyen d'une détection à résolution spatiale dans un plan de détection de champ lointain (8a) d'une intensité de diffraction de la lumière d'éclairage (16) diffractée par la section éclairée (3) avec une ouverture numérique côté enregistrement NA au moyen d'une pluralité de pixels de capteur. Cette ouverture côté enregistrement doit être supérieure ou égale à la détection maximale de NA_illu et NA_détection. À partir des données d'image de diffraction enregistrées, l'image de la section (3) de l'objet (5) pour le réglage d'éclairage cible est ensuite déterminée à partir des données d'image de diffraction enregistrées. Un appareil servant à mettre en œuvre le procédé comprend une source de lumière de mesure destinée à fournir la lumière d'éclairage (1) ainsi qu'un détecteur à résolution spatiale (8) disposé dans le plan de détection (8a) et destiné à enregistrer l'image de diffraction. Ceci permet d'obtenir un procédé et un appareil au moyen desquels une détermination d'image flexible de sections de l'objet est facilitée, en particulier pour différents réglages d'éclairage cibles.
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