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1. WO2022002499 - MICROMECHANICAL DEVICE

Publication Number WO/2022/002499
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/EP2021/064315
International Filing Date 28.05.2021
IPC
B81B 3/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/08 2006.1
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating or modulating
08for controlling the direction of light
CPC
B81B 2201/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
04Optical MEMS
042Micromirrors, not used as optical switches
B81B 2203/0109
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0109Bridges
B81B 2203/0154
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0145Flexible holders
0154Torsion bars
B81B 3/0072
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0067Mechanical properties
0072For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
G02B 26/0833
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
Applicants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventors
  • SCHARY, Timo
  • TOMASCHKO, Jochen
  • DOESSEL, Kerrin
  • SCHATZ, Frank
Priority Data
10 2020 208 290.102.07.2020DE
Publication Language German (de)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE
Abstract
(DE) Es wird eine mikromechanische Vorrichtung (1a), insbesondere eine Mikrospiegelvorrichtung, vorgeschlagen, die wenigstens eine erste mikromechanische Komponente (2a) und eine zweite mikromechanische Komponente (3a) aufweist. Die erste Komponente (2a) und die zweite Komponente (3a) sind unmittelbar oder mittelbar miteinander verbunden. Die erste mikromechanische Komponente (2a) weist einen ersten Teilkörper (4a) und wenigstens einen zweiten Teilkörper (5a) auf. Der erste Teilkörper (4a) verläuft in einer ersten Ebene (20a) und der zweite Teilkörper (5a) verläuft in einer zu der ersten Ebene (20a) unterschiedlichen zweiten Ebene (21a). Die erste (20a) und zweite Ebene (21a) verlaufen parallel zueinander und die erste Ebene (20a) verläuft oberhalb der zweiten Ebene (21a). Der zweite Teilkörper (5a) ist hierbei in einem Übergangsbereich zu der zweiten mikromechanischen Komponente (3a) angeordnet. Eine zweite Ausdehnung (26a) des zweiten Teilkörpers (5a) in Längsrichtung ist größer als eine erste Ausdehnung (25a) des ersten Teilkörpers (4a) in Längsrichtung.
(EN) The invention relates to a micromechanical device (1a), in particular a micromirror device, which has at least one first micromechanical component (2a) and one second micromechanical component (3a). The first component (2a) and the second component (3a) are directly or indirectly connected to one another. The first micromechanical component (2a) has a first partial body (4a) and at least one second partial body (5a). The first partial body (4a) runs in a first plane (20a) and the second partial body (5a) runs in a second plane (21a), which is different from the first plane (20a). The first plane (20a) and second plane (21a) run parallel to one another and the first plane (20a) runs above the second plane (21a). The second partial body (5a) is arranged here in a transition region to the second micromechanical component (3a). A second extent (26a) of the second partial body (5a) in the longitudinal direction is greater than a first extension (25a) of the first partial body (4a) in the longitudinal direction.
(FR) L'invention concerne un dispositif micromécanique (1a), en particulier un dispositif à micromiroir, qui comporte au moins un premier composant micromécanique (2a) et un deuxième composant micromécanique (3a). Le premier composant (2a) et le deuxième composant (3a) sont reliés directement ou indirectement l'un à l'autre. Le premier composant micromécanique (2a) comporte un premier corps partiel (4a) et au moins un deuxième corps partiel (5a). Le premier corps partiel (4a) s'étend dans un premier plan (20a) et le deuxième corps partiel (5a) s'étend dans un deuxième plan (21a), qui est différent du premier plan (20a). Le premier plan (20a) et le deuxième plan (21a) s'étendent parallèlement l'un à l'autre et le premier plan (20a) s'étend au-dessus du deuxième plan (21a). Le deuxième corps partiel (5a) est disposé ici dans une zone de transition vers le deuxième composant micromécanique (3a). Une deuxième extension (26a) du deuxième corps partiel (5a) dans la direction longitudinale est supérieure à une première extension (25a) du premier corps partiel (4a) dans la direction longitudinale.
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