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1. WO2022002182 - DEVICE AND METHOD FOR REGULATING AND CONTROLLING INCIDENT ANGLE OF LIGHT BEAM IN LASER INTERFERENCE LITHOGRAPHY

Publication Number WO/2022/002182
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/CN2021/103935
International Filing Date 01.07.2021
IPC
G03F 7/20 2006.1
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
Applicants
  • 清华大学 TSINGHUA UNIVERSITY [CN]/[CN]
  • 北京华卓精科科技股份有限公司 BEIJING U-PRECISION TECH CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 王磊杰 WANG, Leijie
  • 朱煜 ZHU, Yu
  • 张鸣 ZHANG, Ming
  • 成荣 CHENG, Rong
  • 杨月舳 YANG, Yuezhu
  • 李鑫 LI, Xin
  • 杨开明 YANG, Kaiming
Agents
  • 北京鸿元知识产权代理有限公司 GRANDER IP LAW FIRM
Priority Data
202010636098.503.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DEVICE AND METHOD FOR REGULATING AND CONTROLLING INCIDENT ANGLE OF LIGHT BEAM IN LASER INTERFERENCE LITHOGRAPHY
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION ET DE COMMANDE DE L'ANGLE D'INCIDENCE D'UN FAISCEAU LUMINEUX DANS LA LITHOGRAPHIE PAR INTERFÉRENCE LASER
(ZH) 激光干涉光刻中光束入射角的调控装置及方法
Abstract
(EN) A device and method for regulating and controlling an incident angle of a light beam in laser interference lithography. The device comprises: a beam splitter prism (11), a first decoupling lens (12), a first position detector (13) and a feedback control system (16), wherein the beam splitter prism (11) is located between a first lens (8) and a second lens (9); the first decoupling lens (12) is located between the first position detector (13) and the beam splitter prism (11); the feedback control system (16) is connected to the first position detector (13) and a first universal reflecting mirror (602); the beam splitter prism (11) is used for reflecting first incident light that passes through the first universal reflecting mirror (602); the first decoupling lens (12) is used for enabling first reflected light of the beam splitter prism (11) to be incident to the first position detector (13); the first position detector (13) is used for measuring the position of a light beam and transmitting a measurement result to the feedback control system (16); and the feedback control system (16) is used for outputting a control instruction according to the measurement result, and for adjusting a mirror base of the first universal reflecting mirror (602), thereby regulating and controlling an incident angle of an exposure light beam. The incident angle of a light beam can thus be accurately regulated and controlled.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé de régulation et de commande d'un angle d'incidence d'un faisceau lumineux dans la lithographie par interférence laser. Le dispositif comprend : un prisme diviseur de faisceau (11), une première lentille de découplage (12), un premier détecteur de position (13) et un système de commande de rétroaction (16). Le prisme diviseur de faisceau (11) est situé entre une première lentille (8) et une seconde lentille (9) ; la première lentille de découplage (12) est située entre le premier détecteur de position (13) et le prisme diviseur de faisceau (11) ; le système de commande de rétroaction (16) est relié au premier détecteur de position (13) et à un premier miroir réfléchissant universel (602) ; le prisme diviseur de faisceau (11) est utilisé pour réfléchir une première lumière incidente qui passe à travers le premier miroir réfléchissant universel (602) ; la première lentille de découplage (12) sert à permettre la première lumière réfléchie du prisme diviseur de faisceau (11) d'être incidente sur le premier détecteur de position (13) ; le premier détecteur de position (13) sert à mesurer la position d'un faisceau lumineux et à transmettre un résultat de mesure au système de commande de rétroaction (16) ; et le système de commande de rétroaction (16) sert à émettre une instruction de commande en fonction du résultat de mesure et à ajuster une base de miroir du premier miroir réfléchissant universel (602), ce qui permet de réguler et de commander un angle d'incidence d'un faisceau lumineux d'exposition. L'angle d'incidence d'un faisceau lumineux peut ainsi être régulé et commandé avec précision.
(ZH) 一种激光干涉光刻中光束入射角度的调控装置及方法,装置包括:分光棱镜(11)、第一解耦透镜(12)、第一位置检测器(13)和反馈控制系统(16),其中,分光棱镜(11)位于第一透镜(8)和第二透镜(9)之间;第一解耦透镜(12)位于第一位置检测器(13)与分光棱镜(11)之间,反馈控制系统(16)与第一位置检测器(13)和第一万向反射镜(602)连接;分光棱镜(11)用于对经第一万向反射镜(602)的第一入射光进行反射,第一解耦透镜(12)用于将分光棱镜(11)的第一反射光入射至第一位置检测器(13),第一位置检测器(13)用于对光束位置进行测量,并将测量结果传输至反馈控制系统(16),反馈控制系统(16)根据测量结果输出控制指令,调整第一万向反射镜(602)的镜座,从而对曝光光束的入射角度进行调控。可以对光束入射角度进行精确调控。
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