(EN) A piezoelectric sensor and a manufacturing method therefor, and a detection apparatus, which relate to the technical field of sensing. The piezoelectric sensor comprises: an array substrate (101); a first cover layer (102) located on the array substrate (101), the first cover layer (102) comprising a first portion (1021) and a second portion (1022), wherein the first portion (1021) covers the array substrate (101), and a cavity (106) and a first opening (1023) are provided between the second portion (1022) and the array substrate (101); a first electrode (103) located above the first cover layer (102) and above the cavity (106); a piezoelectric film (104) located on the first electrode (103); and a second electrode (105) located on the piezoelectric film (104).
(FR) L'invention se rapporte au domaine technique de détection, et concerne un capteur piézoélectrique et son procédé de fabrication, et un appareil de détection. Le capteur piézoélectrique comprend : un substrat de réseau (101) ; une première couche de recouvrement (102) située sur le substrat de réseau (101), la première couche de recouvrement (102) comprenant une première partie (1021) et une seconde partie (1022), la première partie (1021) recouvre le substrat de réseau (101), et une cavité (106) et une première ouverture (1023) sont disposées entre la seconde partie (1022) et le substrat de réseau (101) ; une première électrode (103) située au-dessus de la première couche de recouvrement (102) et au-dessus de la cavité (106) ; un film piézoélectrique (104) situé sur la première électrode (103) ; et une seconde électrode (105) située sur le film piézoélectrique (104).
(ZH) 一种压电传感器及其制造方法、检测装置,涉及传感技术领域。所述压电传感器包括:阵列基板(101);第一盖层(102),位于所述阵列基板(101)上,所述第一盖层(102)包括第一部分(1021)和第二部分(1022),其中所述第一部分(1021)覆盖所述阵列基板(101),所述第二部分(1022)与所述阵列基板(101)之间具有空腔(106)且具有第一开口(1023);第一电极(103),位于所述第一盖层(102)的上方,且位于所述空腔(106)的上方;压电薄膜(104),位于所述第一电极(103)上;以及第二电极(105),位于所述压电薄膜(104)上。