Processing

Please wait...

PATENTSCOPE will be unavailable a few hours for maintenance reason on Tuesday 25.01.2022 at 9:00 AM CET
Settings

Settings

Goto Application

1. WO2022000621 - CAPACITOR SYSTEM AND PREPARATION METHOD THEREFOR

Publication Number WO/2022/000621
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/103462
International Filing Date 22.07.2020
IPC
B81B 5/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
5Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
B81B 7/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
7Microstructural systems
Applicants
  • 瑞声声学科技(深圳)有限公司 AAC ACOUSTIC TECHNOLOGIES (SHENZHEN) CO., LTD. [CN]/[CN]
  • 瑞声科技(南京)有限公司 AAC TECHNOLOGIES (NANJING) CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 但强 DAN, Qiang
  • 陶泽 TAO, Ze
  • 李杨 LI, Yang
Agents
  • 深圳中细软知识产权代理有限公司 SHENZHEN CIPRUN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.
Priority Data
202010631458.203.07.2020CN
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) CAPACITOR SYSTEM AND PREPARATION METHOD THEREFOR
(FR) SYSTÈME DE CONDENSATEUR ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ASSOCIÉ
(ZH) 电容系统及其制备方法
Abstract
(EN) The present application provides a capacitor system and a preparation method therefor. The capacitor system comprises a first wafer, a dielectric layer, a first static electrode layer, a moving electrode layer and a second wafer which are stacked in sequence. The moving electrode layer comprises moving electrode blocks arranged on the first static electrode layer, and the moving electrode blocks are separated from the first static electrode layer in a vertical direction, so that the moving electrode blocks can move back and forth relative to the first static electrode layer in a horizontal direction. An insulating cavity is provided on each of the moving electrode blocks, and the insulating cavities separate the moving electrode blocks in the horizontal direction. In the capacitor system, only a relative movement in the horizontal direction occurs between the moving electrode blocks and the first static electrode layer which are stacked. As the deformation rigidity in the vertical direction can be far greater than that in the horizontal direction, a relative collision under a large displacement between the moving electrode blocks and the first electrostatic electrode layer is avoided, thereby solving the reliability problem caused by large displacement collision of a comb-based structure.
(FR) La présente demande concerne un système de condensateur et un procédé de préparation associé. Le système de condensateur comprend une première tranche, une couche diélectrique, une première couche d'électrode statique, une couche d'électrode mobile et une seconde tranche qui sont empilées en séquence. La couche d'électrode mobile comprend des blocs d'électrode mobiles agencés sur la première couche d'électrode statique, et les blocs d'électrode mobiles sont séparés de la première couche d'électrode statique dans une direction verticale, de sorte que les blocs d'électrode mobiles peuvent se déplacer selon un mouvement de va-et-vient par rapport à la première couche d'électrode statique dans une direction horizontale. Une cavité isolante est disposée sur chacun des blocs d'électrode mobiles, et les cavités isolantes séparent les blocs d'électrode mobiles dans la direction horizontale. Dans le système de condensateur, seul un mouvement relatif dans la direction horizontale se produit entre les blocs d'électrode mobiles et la première couche d'électrode statique qui sont empilés. Comme la rigidité de déformation dans la direction verticale peut être bien supérieure à celle dans la direction horizontale, une collision relative lors d'un déplacement important entre les blocs d'électrode mobiles et la première couche d'électrode électrostatique est évitée, ce qui permet de résoudre le problème de fiabilité provoqué par une collision à déplacement important d'une structure à base de peigne.
(ZH) 本申请提供了一种电容系统及其制备方法,电容系统包括依次层叠的第一晶圆、介质层、第一静电极层、动电极层和第二晶圆;所述动电极层包括设置在所述第一静电极层上的动电极块,所述动电极块与所述第一静电极层在竖直方向上分离,从而使得所述动电极块可相对于所述第一静电极层在水平方向上来回运动;所述动电极块上设有绝缘空腔,所述绝缘空腔将所述动电极块在水平方向上分隔。这种电容系统的层叠的动电极块与第一静电极层之间只发生水平方向上的相对运动,由于垂直方向上的变形刚度可以远大于水平方向,这就避免了动电极块与第一静电极层之间大位移下的相对碰撞,从而解决了基于梳齿结构的大位移碰撞可靠性问题。
Related patent documents
Latest bibliographic data on file with the International Bureau