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1. WO2022000120 - MANUFACTURING METHOD FOR GRAPHITE ISLAND SLIDING BLOCK ARRAYS

Publication Number WO/2022/000120
Publication Date 06.01.2022
International Application No. PCT/CN2020/098477
International Filing Date 28.06.2020
IPC
B81B 5/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
5Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
B81C 1/00 2006.1
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
C01B 32/00 2017.1
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
32Carbon; Compounds thereof
Applicants
  • 深圳清华大学研究院 RESEARCH INSTITUTE OF TSINGHUA UNIVERSITY IN SHENZHEN [CN]/[CN]
  • 清华大学 TSINGHUA UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventors
  • 郑泉水 ZHENG, Quanshui
  • 姜海洋 JIANG, Haiyang
Agents
  • 深圳市惠邦知识产权代理事务所 SHENZHEN HUIBANG INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY FIRM
Priority Data
Publication Language Chinese (zh)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) MANUFACTURING METHOD FOR GRAPHITE ISLAND SLIDING BLOCK ARRAYS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION POUR RÉSEAUX DE BLOCS COULISSANTS EN ÎLOTS DE GRAPHITE
(ZH) 一种石墨岛滑块阵列的制备方法
Abstract
(EN) A method for batch manufacturing a graphite island sliding block array. The method adds a grain structure inspection step to a process of manufacturing a graphite island sliding block array and, by controlling a subsequent etching step, allows only one crystal interface to be present within sliding blocks; and when these sliding blocks are being cut, they slide away from the only crystal interface. The sliding block array manufactured by employing the method is provided with a unified sliding surface and height and has great consistency.
(FR) Procédé de fabrication par lots d'un réseau de blocs coulissants en îlots de graphite. Le procédé ajoute une étape d'inspection de structure de grain à un procédé de fabrication d'un réseau de blocs coulissants en îlots de graphite et, par la commande d'une étape de gravure ultérieure, permet qu'une interface monocristalline soit présente à l'intérieur de blocs coulissants ; et lorsque ces blocs coulissants sont coupés, ils glissent à l'opposé de l'interface monocristalline. Le réseau de blocs coulissants fabriqué au moyen du procédé est doté d'une surface coulissante et d'une hauteur unifiées et présente une très bonne consistance.
(ZH) 一种批量制备石墨岛滑块阵列的方法,该方法在制备石墨岛滑块阵列的过程中增加晶粒结构检测步骤,并通过控制后续的刻蚀步骤,使滑块内部有且仅有一个晶界面,当剪切这些滑块时,它们将从唯一的晶界面滑开。采用该方法制备的滑块阵列,具有统一的滑移面和高度,一致性好。
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