Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2021056807 - DEVICE AND METHOD FOR WET TRANSFERRING OF GRAPHENE THIN FILM

Publication Number WO/2021/056807
Publication Date 01.04.2021
International Application No. PCT/CN2019/121694
International Filing Date 28.11.2019
IPC
C01B 32/184 2017.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
32Carbon; Compounds thereof
15Nanosized carbon materials
182Graphene
184Preparation
C01B 32/194 2017.01
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF
32Carbon; Compounds thereof
15Nanosized carbon materials
182Graphene
194After-treatment
CPC
C01B 32/184
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
182Graphene
184Preparation
C01B 32/194
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
32Carbon; Compounds thereof
15Nano-sized carbon materials
182Graphene
194After-treatment
Applicants
  • 中国科学院微电子研究所 INSTITUTE OF MICROELECTRONICS OF THE CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN]/[CN]
Inventors
  • 卢维尔 LU, Weier
  • 夏洋 XIA, Yang
  • 李楠 LI, Nan
  • 赵丽莉 ZHAO, Lili
  • 冷兴龙 LENG, Xinglong
  • 何萌 HE, Meng
  • 节喜 JIE, Xi
Agents
  • 北京华沛德权律师事务所 BEIJING BRIGHT & RIGHT LAW FIRM
Priority Data
201910912398.925.09.2019CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) DEVICE AND METHOD FOR WET TRANSFERRING OF GRAPHENE THIN FILM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT HUMIDE D'UN FILM MINCE DE GRAPHÈNE
(ZH) 一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法
Abstract
(EN)
Disclosed are a device and method for the wet transferring of a graphene thin film. By means of a water tank, a carrier for a target substrate, wherein the carrier for the target substrate is arranged in the water tank and is parallel to the bottom of the water tank, and there is a preset distance between the carrier for the target substrate and the bottom of the water tank, with the carrier for the target substrate having a through-hole, the target substrate, wherein same is arranged on an upper surface of the carrier for the target substrate, a liquid inflow pipe, wherein the liquid inflow pipe is arranged at the lower part of a side wall of the water tank and the liquid inflow pipe is arranged below the carrier for the target substrate, and a liquid outflow pipe, which is located below the liquid inflow pipe, the technical effects of transferring a large area of graphene with a metal base, ensuring better contact between the graphene and the target substrate, reducing the fracturing of a graphene thin film during transferring, and improving the quality of transferring the graphene are achieved.
(FR)
L'invention concerne un système et un procédé de transfert humide d'un film mince de graphène. Au moyen d'un réservoir d'eau, d'un support pour un substrat cible disposé dans le réservoir d'eau et parallèle au fond du réservoir d'eau, une distance étant prédéfinie entre le support pour le substrat cible et le fond du réservoir d'eau, et le support pour le substrat cible étant doté d'un trou traversant, du substrat cible disposé sur une surface supérieure du support pour le substrat cible, d'un tuyau d'entrée de liquide disposé au niveau de la partie inférieure d'une paroi latérale du réservoir d'eau et agencé au-dessous du support pour le substrat cible, et d'un tuyau de sortie de liquide situé au-dessous du tuyau d'entrée de liquide, les effets techniques suivants sont réalisés : une grande surface de graphène avec une base métallique est transférée, un meilleur contact entre le graphène et le substrat cible est assuré, la fracture d'un film mince de graphène pendant le transfert est réduite, et la qualité de transfert du graphène est améliorée.
(ZH)
一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法,通过水槽;目标衬底载台,所述目标衬底载台设置在所述水槽内,所述目标衬底载台与所述水槽的底部平行,且所述目标衬底载台与所述水槽的底部具有预定距离,其中,所述目标衬底载台具有通孔;目标衬底,所述目标衬底设置在所述目标衬底载台的上表面;液体流入管,所述液体流入管设置在所述水槽的侧壁下部,且所述液体流入管设置在所述目标衬底载台的下方;液体流出管,所述液体流出管在所述液体流入管的下方,实现大面积转移金属基底的石墨烯,确保石墨烯与目标衬底有较好的接触,降低石墨烯薄膜在转移过程中的破裂,提高转移石墨烯的质量的技术效果。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau